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CIP(Continuous Improvement
Program)活動を推進しています。
CIPとは“ 継続的な改善活動” という意味です。
国内はもとより海外のユーザーに対し、すでにご使用いただいている装置を多世代にわたり有効に活用し、歩留りおよび生産性向上を目的とするサービスです。
■次世代プロセスへの対応
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新規に開発されたハード、ソフトの変更、追加による最新のプロセス対応 |
■生産性、歩留まり、プロセス性能、装置稼働率の向上
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新要素技術や新機能、信頼性の高いユニットへの更新による歩留まりや装置稼働率の向上のご提案 |
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適切な条件設定や絞込みによるスループットの改善や、生産性の向上を実現 |
■アップグレード・レトロフィット
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生産中止のユニット更新による装置の延命 |
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リニューアルやソフトウェアによる機能向上や操作性の改善にて、装置の生産性向上 |
■環境への配慮、貢献
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省エネルギー化（ハード、ソフトでの対応） |
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RoHS指令に基づくユニット、部品の更新 |
CIPの実際の改善例（制御系）
■制御系リニューアル
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制御系に使用されている、コンピュータやPLC（シーケンサ）等操作性、メンテナンス性の向上を目的に最新のユニットにリプレースを行います |
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メインのPLCやコンピュータの交換のみだけではなく、その他の制御機器のリニューアルで、効果向上を行います |
●シーケンサの載せ替え
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●NECのFC-9821から互換機への載せ替え
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入れ替えだけでは動かないため、ソフトウェアの変更が必要になります |
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■その他リニューアル例として
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制御スイッチパネル → タッチパネル化 |
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制御電圧を AC200V → DC24V化 圧空ソレノイド、センサ類も交換が必要 |
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コンピュータのOSの更新 OSが古いとサポートも出来ず、故障時に対応できなくなる |
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PLCの更新時に機能追加や操作性の向上も可能です |
CIPの実際の改善例（駆動系）
■駆動系リニューアル
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駆動系モータは信頼性とともに、生産性に大きな影響を及ぼす主要パーツです |
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生産中止モータが故障した場合、現行モータへの移行には制御系を含めた大幅な改造が必要となります |
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当社では、事前に計画を立て、リニューアルすることをご推奨します |
●巻き取り装置のモータリニューアル
DCモータからACサーボモータへ変更します
※モータだけではなく制御系の変更が必要になります
CIPの実際の改善例（チャンバー交換）
■真空槽リニューアル
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古い装置をお使い続けたい場合のご要望にお答えします |
●真空熱処理炉の水冷ジャケット式のチャンバーの載せ替え例
※SSのチャンバーからSUSに変更し、最新の技術で製作されています
■チャンバーリニューアルについて
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補修を繰り返したチャンバーは、新規製作が必要となります |
■メリット
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最新の設計及び製造技術で製作するために品質が向上します |
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リニューアルの際に新機能を追加できます
例：センサ類取り付け用のポートの追加、覗き窓取り付け、内部治具取付けスキルレス化 |
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同じ装置を使い続けられることにより、プロセスの変更や、条件変更は無くリニューアル後の装置の立ち上げが短期間で可能です |
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設計時に考慮すればスペアパーツもそのままお使いいただけます |
CIPの実際の改善例（その他）
■その他の実例
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排気系
油回転ポンプからドライポンプへ載せ替え
拡散ポンプからターボ分子ポンプやクライオポンプへ載せ替え
排気時間短縮のための排気系大型化
油回転ポンプのオイル中の水分除去のため油水分離機取り付け
各種トラップ取付けや配管変更工事
APCユニット取付け
「ポンプ特性表」をご参考ください
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制御系
コントローラ交換（PLC、コンピュータ等）
制御ラック内部全体をリニューアル |
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電源系
電源の交換（リニューアル）
真空管式RF電源やEB電源からソリッドステート型電源へ載せ替え
加熱電源を交換しON／OFF制御からPID制御へ変更 |
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測定系
真空計の載せ替えによる精度アップ
温調計交換
膜厚コントローラ交換 |
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搬送系
搬送用モータリニューアル
搬送用ロボットのリニューアル 後継機種へ載せ替え
搬送コントローラリニューアル |
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蒸発源系
蒸発源系の変更、抵抗蒸発源からEBGUNへ
スパッタカソードの改善 |
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内部治具
内部治具の取り付けのスキルレス化
内部治具の材質変更による長寿命化
熱処理の温度分布改善 |
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