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常に休みなく稼動しつづける機器は、定期的なメンテナンスが必要です｡
標準機器本部では、油回転真空ポンプ、各種ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、計測機、ロボットなどに対して、有益な情報のご提供と、ユーザビリティの向上を目指します｡
真空ポンプのメンテナンス及びご相談は最寄のCSセンターへお申し付けください。豊富な実績と経験により、安心と信頼の品質とトータルコストダウンのご協力をします。
■安定稼動を約束するオーバーホール部品
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厳しい検査基準に合格した交換部品を使用。 |
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環境配慮型の部品を積極的に採用。 |
■安心のオーバーホール体制
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全国に拡がるCSセンターネットワーク。 |
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熟練した技術者による品質の高いオーバーホール。 |
■保守契約による安定稼動
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■オーバーホール形態
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引取りはもちろん、現地作業も承ります。 |
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エクスチェンジ方式もご相談に応じます。 |
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無害化洗浄を含む作業も承ります。 |
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真空バルブ、配管も含めた排気系のご依頼も承ります。 |
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他社製ポンプの作業も致します。 |
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中古ポンプも豊富に取り揃えております。 |
| クライオポンプオーバーホール前 |
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クライオポンプオーバーホール後 |
■高度な解析能力と迅速な問題解決
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メーカーの最新技術と豊富なフィールドデータの蓄積。 |
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最新技術のフィードバックと敏速な横展開。 |
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ドライポンプ専門オーバーホール工場を、滋賀・茅ヶ崎・広島に有しております。 |
豊富なバリエーションの中から最適な稼働率UPのご提案を致します。
■ドライポンプ
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消費電力を大幅に削減
ドライポンプにECO-SHOCKを取り付けることにより、消費電力の大幅な削減が可能です。 |
■ロータリーポンプ
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オイル寿命大幅アップ
オイルフィルトレーションシステムの取り付けにより、オイル寿命が大幅にアップされます。 |
■クライオポンプ
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再生時間を大幅短縮
急速常温再生の改造により、再生時間の大幅短縮が可能です。 |
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運転コスト削減
マルチ駆動型コンプレッサーに交換することで消費電力、水量が削減されます。 |
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チャンバー排気時間大幅短縮
トラップを取り付けることで、水の排気速度を大幅ＵＰ、排気時間の短縮を図ります。 |
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Ar＋N2ガス排気容量UP
半導体用８インチクライオポンプを【特型パネル】にすれば、再生周期が延長します。 |
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真空の総合メーカーＵＬＶＡＣが自信を持って
お勧めする真空ポンプ用純正オイルです
真空ポンプに選定する三大要素とは
1.
到達圧力を決める低蒸気圧特性
2. 隙間を埋めるシール特性
3. 機械部品の動きを助ける潤滑特性
油回転ポンプ油交換時期の目安
| 用 途 |
期 間 |
| 研究、実験用真空装置、小型真空装置など |
６カ月〜１年以内 |
| 生産用真空装置、大型蒸着装置など |
３カ月〜６カ月以内 |
| 管球排気装置、大型蒸着装置など |
３カ月以内 |
| 熱処理、溶解など金属冶金真空装置 |
１カ月以内 |
| 高真空乾燥、真空含浸、真空成形、真空包装など |
１カ月以内 |
| 低真空乾燥、土練機、食品包装機など |
１週間以内 |
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ポンプ油は汚れの程度、油の性状の劣化に応じて交換頻度を変えること |
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使用油はポンプメーカーより指定された油を使用すること |
| ● |
オイルはオイルレベルの中央まで補給すること |
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水分、へドロなどが油タンク底部にたまる場合は、早朝起動前にドレンより抜くこと |
計測機器のメンテナンス及びご相談は最寄のCSセンターへお申し付けください。
豊富な実績と経験により、高い品質をご提供いたします。
■主な取扱い機種とメンテナンス
| 機 種 |
修 理 |
オーバー
ホール |
校 正 |
| 真空計 |
○ |
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○ |
| ヘリウムリークディテクタ |
○ |
○ |
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| He校正リーク |
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○ |
| 質量分析計 |
○ |
○ |
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| 表面形状測定器 DEKTAKシリーズ |
○ |
○ |
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| 自動エリプソメータ |
○ |
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○ |
| 水晶発振式成膜コントローラ |
○ |
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| EB電源 |
○ |
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|
| DC、RF電源 |
○ |
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■安心のメンテナンス体制
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全国に拡がるCSセンターネットワーク。 |
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専任技術者による品質の高いメンテナンス。 |
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当社顧客管理システムにて、メンテナンス履歴管理を行っています。 |
■メンテナンス形態
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引取り、出張オーバーホール |
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エクスチェンジ方式オーバーホール |
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無害化洗浄オーバーホール |
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出張、一括真空計校正 |
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■充実したバックアップパーツと代替機
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現行機種はもちろん、生産中止機種のバックアップパーツ及び、修理校正期間中の代替機を取り揃えています。 |
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中古計測機器も取り揃えています。 |
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当社顧客管理システムにて、メンテナンス履歴管理を行っています。 |
※対応機種が無い場合も御座いますので、事前にご確認ください
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搬送ロボットのメンテナンス及びご相談は最寄のCSセンターへお申し付けください。
常に休みなく稼動しつづけるロボットは定期メンテナンスが最も必要な機器の一つです。
■予防保全のご案内
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突然のロボット故障による装置停止を予防する為に、定期予防保全をお勧め致します。 |
■取扱い機種
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KEYTRANシリーズ |
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KEYTRAN II |
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KEYTRAN III |
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KEYTRAN IV、IVZ |
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KEYTRAN V-450、650、950 |
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COVOT |
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その他 |
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■安心のメンテナンス体制
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全国に拡がるCSセンターネットワーク |
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厳しい検査基準 |
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専任技術者による品質の高いオーバーホール |
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代替機を準備することによりダウンタイムを短縮 |
※対応機種が無い場合も御座いますので、事前にご確認ください。
■メンテナンス方法
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エクスチェンジ方式オーバーホール |
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引取り、出張修理 |
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ロボットコントローラのオーバーホール |
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