ウェーハ／ディスプレイプロセスサービス：アルバックテクノ

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ウェーハ/FPD、その他のプロセス請負サービスを行っております
ウェーハ／FPDプロセスサービス

アルバックはウェーハ／FPD（フラットパネルディスプレイ）プロセスや、その他プロセスの最新鋭装置を保有しており、お客様のサンプル作製や開発、少量生産等のニーズに対応いたします。

■ウェーハプロセス
●PVD ・・・・・・・	ENTRON、Ziシリーズ
●IMPLANTER・・・・	IW-630
●ETCHING ・・・・・	NLD、NEシリーズ
●CVD ・・・・・・・	ENTRON、Ziシリーズ
●ASHING・・・・・・	ENVIRO
●Low-k ・・・・・・	INTERLAYER DIELECTRIC ISMシリーズ（ポーラスシリカ）

■FPD（ディスプレイ）プロセス
●PVD ・・・・・・・	SMDシリーズ（各種メタル、ITO他）
●CVD ・・・・・・・	CMDシリーズ（a-Si、SiNx、SiO2）
●OLED・・・・・・・	SOLCIET、SATELLA、ZELDAシリーズ（低分子有機EL作製装置）インクジェットシステム（高分子有機EL作製装置）
●レーザアニール・・	固体グリーンレーザアニール装置（poly-Si）

■MEMS

　●各種デバイス作製

■蒸着重合

　●POLYMER VEPシリーズ

■電子部品プロセス・材料
●	カーボンナノチューブ（CNT）、グラファイトナノファイバー（GNF）、光触媒、MgO、磁性薄膜（GMR、TMR）、各種スパッタ薄膜、各種蒸着薄膜、PECVD装置 : CME-200（a-Si、SiNx、SiO2）

■評価分析

　●放出ガス分析、各種表面分析

ウェーハ/FPD（フラットパネルディスプレイ）プロセスサービスについての詳細は下記サイトをご覧ください。

株式会社アルバック

ウェーハ／FPDプロセスサービスのお問い合わせ先
株式会社アルバック　カスタマーズサポート事業部
〒253-8543 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500
TEL 0467-89-2154　FAX0467-82-9114