再生・精密洗浄（アルピカ、サスピカ、スーパーアルピカ）、真空槽内表面処理、資源回収・リサイクル：アルバックテクノ

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再生・精密洗浄

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　再生・精密洗浄

部品寿命と洗浄サイクルの延長、有価物の回収等を通じて
トータルコストダウンを目指します。
真空装置全体の豊富な知識を基に、
お客様個々のプロセスに最適な表面処理と洗浄のご提案をいたします。

母材にやさしい	選択性剥離洗浄付着物除去	粉砕剥離法ケミカル洗浄
	選択性剥離洗浄付着物除去	付着物への選択性エッチング Ti Mo Cr W
	特殊ブラスト洗浄	各種ブラスト
	AIや高耐食性物質の厚膜付着によるアルミ母材損耗	高速溶解性新開発溶射材によるサンドイッチ法
パーティクル低減	高応力膜の付着フレーク剥離 Cr Ta Mo W etc	高応力吸収性溶射皮膜
	脆性膜の付着パーティクル α-ITO C etc	整積性溶射皮膜
	異常成長膜柱状成長パーティクル Ti TiN etc	超粗表面溶射皮膜
	セラミック部品気孔内のパーティクル	RC洗浄 Refresh Ceramics
低放出ガス	アルピカ・サスピカ
低放出ガス	立上げ時間短縮	真空ベーキング
環境に優しい	付着物の回収	貴金属回収Ａｕ、Ａｇ、ＰｄＩｒ、Ｒｕ
環境に優しい	部品金属の回収	ターゲット他

■選択的除膜
洗浄による部品のダメージを出来るだけ抑えて、選択的に付着物を除去することで部品寿命の延長を図ります。

アルミ溶射上に高融点金属付着

下地のアルミ溶射を残し、
付着した高融点金属だけを除去

■有機EL材料用特殊洗浄 ※特許申請中
全く新しい特殊洗浄法で、製品の発光寿命への影響も考慮しています。蒸発源、防着板、基板マスク等の部品再利用を推進しています。

■ドライアイスブラスト洗浄

	●	CVD、エッチング装置に使用されるアルマイト処理部品の洗浄に最適です。
	●	ドライアイスを噴射し、サーマルショック及び昇華時の膨張エネルギーによって付着物を除去します。
	●	アルマイトへのダメージを最小限に抑えます。

■RC洗浄（Rehabilitate Ceramics

●

セラミック部品に付着したフッ化物や取れにくい黄ばみを除去します。

■各種溶射処理

	●	部品材質と付着物との熱膨張差によって発生する膜剥離やパーティクルを、溶射膜の柔軟性と表面のアンカー効果を利用して低減いたします。
	●	部品材質や成膜プロセスにより、お客様個々に最適な表面処理をご提案いたします。　低温プロセス：Ａ、HA、HA-G 処理等　高温プロセス：Ｃ、Ｔ、軟Ｔ処理等　特殊プロセス：アルミナ処理

　真空槽内表面処理

アルピカ

アルピカ処理後ウェーハカセット（アスペクト比の高い櫛形部分が均一に研摩されています。

クリーンにして低コストな表面処理

Alpika^®（アルピカ）の湿式表面処理法とは、化学研磨と精密洗浄です。
従来の電解研摩処理と比較して低ガス放出量、複雑形状部品への対応が可能で、低処理費用の優位性があり、複雑形状部品やチューブの内面等にも処理が可能です。
アルピカには経年変化およびダスト発生が極めて少ない特性があります。

■実用例
部品：防着板、ウェーハカセット、チャンバー、搬送系　他
真空関連に限らずアルミ表面の光沢を得る処理としても応用可能です。

■適用合金
アルミニウム合金
処理可能材質：A1000、A5000、A6000番台
処理槽寸法：1.5m□

■特　長
・ガス放出量が少ない。
・複雑形状処理が容易にできます。
・表面粗さの制御が可能です。
・再現性が良い（同じ処理ができます）。
・ダスト発生が極めて少ない。
・大気中の経年変化が極めて少ない。
・外観上の光沢面が均一です。
・処理費用が安価。

A5052外径8mmパイプの処理前、
処理後の内面

ALpika^®（アルピカ）はアルミニウム合金の湿式表面処理法で、ULVACで商標登録した名称です。

サスピカ

真空装置関連部品

容易で良質な処理を応用

SUSpika^®（サスピカ）の湿式表面処理法とは、化学研磨と精密洗浄です。

従来の電解研摩処理と比較して低ガス放出量は同等で非常に少ない状態でありながら、複雑形状部品への対応が可能で、ダスト発生が極めて少なく、低処理費用の優位性があり、複雑形状部品やチューブの内面等にも処理可能です。

■実用例
部品：防着板、粉体トラップ、チャンバー、トレイ、フランジ　他

応用例として医薬関連、原子力関連、食品関連、またステンレス表面の光沢を得る処理としても有効です。

■適用合金
ステンレス鋼
処理可能材質：SUS304（L）、SUS316（L）
処理槽寸法：0.7m×0.7m×h0.5m

■特　長

・ガス放出量が少ない。
・複雑形状処理が容易にできます。
・表面粗さの制御が可能です。
・再現性が良い（同じ処理ができます）。
・ダスト発生が極めて少ない。
・外観上の光沢面が均一です。
・処理費用が安価。

粉体トラップ

SUSpika^®（サスピカ）はステンレス鋼の湿式表面処理法で、ULVACで商標登録した名称です。

スーパーアルピカ

Super Alpika^®（スーパーアルピカ）はアルミニウム合金用バリア型化学研磨表面処理で、特殊皮膜によるMgコンタミ、放出ガスの抑制に適しています。

■適用合金
アルミニウム合金
処理可能材質：A1000、A5000、A6000番台
処理槽寸法：ご相談ください

　資源回収・リサイクル

■貴金属・希少金属回収

	●	溶媒抽出法による、低い精製費。
	●	自動ラインにより、低コストと安定した品質を両立して精密洗浄。
	●	成分分析表、費用計算書による高い信頼性。

■インジウム回収

	●	防着板に付着したITOやIZOなどから、高価なインジウムを回収いたします。
	●	ULVAC独自の高効率回収システムは、お客様への返金額を増やすことを最大の目的としております。　●特殊溶射の利用　●最小限の回収コスト　●環境負荷低減
	●	成分分析表、費用計算書による高い信頼性。

■廃液からの回収

●

エッチング液等からの貴金属や希少金属を回収いたします。
例えば、メッキ、レジスト剥離、すすぎ、２次洗浄等の様々な工程で発生する有価物も回収いたします。

■機能リサイクル

	●	液晶やCF用などのガラス基板を再生いたします。
	●	再生、再利用により廃棄物の低減と、生産コストダウンをご提案いたします。

再生・精密洗浄のお問い合わせ先
アルバックテクノ株式会社　営業戦略本部　戦略推進1部
〒253-8555 神奈川県茅ケ崎市萩園2500（アルバック構内）
TEL 0467-89-2258　FAX0467-89-2428