| ■蒸着源 |
 |
原子
番号
材料 |
純度
（%） |
真比重
（g/cc）
融点
（℃） |
蒸気圧が
10-2・10-4Pa
を示す時の温度
(℃) |
形 状 |
蒸着原材料 |
EB法
適否 |
備 考 |
| ブロック |
粒状
粉状 |
薄片 |
ワイヤ |
板 |
ボート
フィラメント |
ルツボ |
5B |
99.0 |
2.38
2225 |
昇 1797
華 1548 |
− |
− |
− |
− |
− |
− |
− |
不適 |
Cの蒸気混入急冷爆発 |
6C |
99.9〜
99.999 |
2.25
3827 |
昇 2137
華 1867 |
○ |
○ |
− |
− |
○ |
− |
− |
不適 |
− |
12Mg |
99.9〜
99.99 |
1.74 |
昇 327
華 274 |
○ |
− |
○ |
− |
− |
Mo,Ta,W |
Mo,G
アルミナ |
良 |
− |
13Al |
99.0〜
99.999 |
2.70 |
1010
817 |
○ |
− |
− |
○ |
○ |
W,
BN comp |
アルミナ
コンポジッド |
良 |
ぬれ性強いRM合金化 |
14Si |
99.999〜
11N |
2.34 |
1337
1147 |
○ |
− |
− |
− |
− |
− |
ジルコニア
G |
優 |
酸化物と反応 |
22Ti |
99.8〜
99.99 |
4.50
1670 |
1453
1235 |
○ |
○ |
− |
○ |
○ |
Ta |
G |
優 |
Wと反応しTaとは反応せず |
23V |
99.7 |
6.10
1902 |
1547
1332 |
− |
− |
○ |
− |
− |
Mo |
Mo |
優 |
WとTaと合金化、
Moとは作らず |
24Cr |
99.8〜
99.998 |
7.20
1875 |
昇 1157
華 977 |
○ |
○ |
○ |
− |
○ |
W
（Crメッキ） |
G |
良 |
− |
25Mn |
99.9〜
99.99 |
7.44
1244 |
647
572 |
− |
− |
○ |
− |
− |
Mo,Ta,W |
アルミナ
Mo,G |
良 |
RMにぬれる |
26Fe |
99.9〜
99.99 |
7.86
1536 |
1180
998 |
○ |
− |
− |
○ |
○ |
W |
アルミナ
ジルコニア |
優 |
RWと合金化 |
27Co |
99.0〜
99.99 |
8.9
01492 |
1200
990 |
○ |
○ |
− |
○ |
○ |
W |
アルミナ
マグネシア |
優 |
Mo,Ta,Wと合金化 |
28Ni |
99.0〜
99.96 |
8.90
1453 |
126
2987 |
○ |
○ |
− |
○ |
○ |
W |
アルミナ
マグネシア |
優 |
Mo,Ta,Wと合金化 |
29
Cu
|
99.9〜
99.99
|
8.96
1083.4
|
1017
857
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
Mo,Ta,W
|
Mo,BN,G
アルミナ
|
優
|
Mo,Ta,Wにややぬれる
|
30
Zn
|
99.999
|
7.14
419.5
|
250
177
|
○
|
○
|
−
|
−
|
−
|
Mo,Ta,W
|
Mo,アルミナ
G
|
優
|
RMにぬれる
合金化せず
|
31
Ga
|
99.99
|
5.91
29.8
|
807
747
|
○
|
○
|
−
|
−
|
−
|
−
|
石英
アルミナ
|
良
|
耐火物と反応
|
32
Ge
|
99.999
|
5.32
937.3
|
1167
957
|
○
|
−
|
−
|
−
|
○
|
Mo,Ta,W,G
|
アルミナ, G
|
優
|
RMにぬれる
Gにぬれにくい
|
34
Se
|
99.9〜
99.99
|
4.79
217
|
170.1
127
|
○
|
○
|
−
|
−
|
−
|
Mo,W
|
アルミナ
G
|
良
|
毒性注意
ぬれ性強い
|
39
Y
|
99.9
|
4.48
1502
|
1157
973
|
○
|
○
|
○
|
−
|
○
|
Ta,W
|
アルミナ
Ta
|
良
|
−
|
40
Zr
|
99.2
|
6.49
1852
|
1987
1702
|
○
|
スポンジ
○
|
−
|
−
|
○
|
W
|
−
|
優
|
Wとわずかに合金をつくる
|
41
Nb
|
99.9
|
8.4
2467
|
2287
1977
|
○
|
−
|
−
|
○
|
○
|
W
|
−
|
優
|
Wと合金をつくる
|
42
Mo
|
99.9〜
99.98
|
10.2
2617
|
2117
1822
|
○
|
−
|
−
|
○
|
○
|
−
|
−
|
優
|
ワイヤへ直接通電可
|
45
Rh
|
99.9
|
12.44
1960
|
1707
1472
|
○
|
−
|
−
|
○
|
−
|
W
|
G
ジルコニア
|
良
|
−
|
46
Pd
|
99.95
|
12.02
1552
|
1192
997
|
○
|
○
|
−
|
○
|
○
|
W
|
アルミナ
|
良
|
RMと合金を作る
|
47
Ag
|
99.99〜
99,999
|
10.492
961
|
684
617
|
○
|
○
|
−
|
○
|
−
|
Mo,Ta,W
|
Mo,G
アルミナ
|
優
|
Wにぬれる
|
48
Cd
|
99.9〜
99.999
|
8.65
321.03
|
180
120
|
○
|
○
|
−
|
−
|
−
|
Mo,Ta,W
|
アルミナ
Ta
|
不適
|
毒性注意
|
49
In
|
99.9〜
99.999
|
7.31
156.6
|
742
597
|
○
|
○
|
−
|
○
|
○
|
Mo,W
|
Ta,Mo,G
アルミナ
|
優
|
−
|
50
Sn
|
99.9〜
99.9999
|
7.29
231.91
|
997
807
|
○
|
○
|
−
|
○
|
−
|
Mo,Ta
|
Ta,G
アルミナ
|
優
|
Moぬらし反応
|
51
Sb
|
99.9999
|
6.62
631
|
425
345
|
○
|
−
|
−
|
−
|
−
|
Mo,Ta
|
BN,G
アルミナ
|
不適
|
毒性注意
|
52
Te
|
99.99〜
99.9999
|
6.25
449.8
|
277
207
|
○
|
○
|
−
|
−
|
−
|
Mo,Ta,W
|
Mo,G,Ta
アルミナ
|
不適
|
毒性注意
|
希土類
|
99.9
|
−
|
−
|
○
|
−
|
−
|
−
|
○
|
Ta
|
アルミナ
|
不適
|
−
|
72
Hf
|
98.0
|
13.3
2227
|
3090
2250
|
スポンジ
○
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
良
|
−
|
73
Ta
|
99.9
|
16.6
2998
|
2590
2240
|
○
|
−
|
−
|
○
|
○
|
−
|
−
|
優
|
ワイヤへ直接通電可
|
74
W
|
99.95
|
19.3
3380
|
2757
2407
|
○
|
−
|
−
|
○
|
○
|
−
|
−
|
良
|
酸化し易い
|
75
Re
|
−
|
21.2
3160
|
2571
2207
|
○
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
77
Ir
|
−
|
22.5
2443
|
2380
2080
|
○
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
−
|
78
Pt
|
99.95〜
99.995
|
21.45
1770
|
1747
1492
|
○
|
○
|
−
|
○
|
○
|
W
|
G
ジルコニア
|
優
|
Ta,Nb,Moと合金を作る
|
79
Au
|
99.99
|
19.3
1063
|
1132
947
|
○
|
○
|
−
|
○
|
○
|
Mo,W
|
Mo,BN,G,W
アルミナ
|
優
|
W,Moぬらす
Taは合金を作る
|
82
Pb
|
99.9999
|
11.4
327.3
|
497
427
|
○
|
○
|
−
|
−
|
−
|
Mo,Ta,W
|
W,Fe
アルミナ
|
優
|
RMとぬれない
|
83
Bi
|
99.9〜
99.9999
|
9.8
271.37
|
520
410
|
○
|
○
|
−
|
−
|
−
|
Mo,Ta,W,Ni
|
Mo,G,Ta
アルミナ
|
良
|
−
|
| ○＝製作可能 G＝グラファイト RM＝Mo,Ta,W等 |
|
13×7.5