電子ビーム蒸着材料
電子ビーム蒸着用ハースライナー
ハースデッキカバー
スパッタリングターゲット
アルミ蒸着用アルミナコンポジット・ ハースライナー
真空材料
【成膜材料】アルミ蒸着用アルミナコンポジット・ハースライナー
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特長
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●省エネ
ハースライナーの断熱効果により、省電力で蒸着レートが高くなります。
●長寿命
従来のBNコンポジットと比較して、曲げ強度が約５倍と高くロングライフ化を実現します。
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仕様・特性・用途ほか
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■ハースライナー使用有無の比較グラフ
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▲本ハースライナー使用にて蒸着中
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※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。
※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。
※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。
※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。
■仕様
| 項 目 | 仕 様 |
|---|---|
EBガン |
ULVAC製 EGL-35、35M、406M、EGO-40M（各40cc用） |
| 寸 法 | φ50／φ40×25mm |
| 内容積 | 17cc |
| アルミ投入量 | 36g |
特記事項
• 急激なパワー投入は破損の原因となります。
• 外観は焼成品のため、色ムラがあります。
• その他の形状についてもご相談に応じます。
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