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真空材料

【成膜材料】電子ビーム蒸着材料

概要

電子ビーム蒸着材料を各種取り揃えております。

仕様・特性・用途ほか

■表1 常備在庫品

材 質 純度(%) 形状(mm) 分析不純物
Ti 99.8 φ13×7.5 Fe、C
Ti 99.5 0.5×8×30 Fe、C
Ni 99.96 10×14×20 C、Si、Mn、Fe、Co、P、S
Ni 99.96 10×14×7 C、Si、Mn、Fe、Co、P、S
Mo 99.98 10×12.5×7 Ni、Fe、Cu、C

※本製品はデバイス生産用に用いることによって生じる二次的損害については責任を負いかねます。
  また、本製品が現在及び将来の貴社の特定の使用目的に適合していることについては保証できません。
  あらかじめご了承ください。

■蒸着源

蒸着材料 純度
(%)
真比重
(g/cc)
蒸発温度(℃) 形 状 材 質 EB法
適否
備考
融点
(℃)
蒸気圧
1×10-2Pa
蒸気圧
1×10-4Pa
ブロック 粒状
粉状
薄片 ワイヤ ボート
フィラメント
ルツボ
B 99.0 2.38
※1797 ※1548 不適
2225
C 99.9~
99.999
2.25
※2137
※1867 不適
3827
Mg 99.9~
99.99
1.74 ※327
※274 Mo,Ta,W Mo,C
アルミナ
650
Al 99.0~
99.999
2.70 1010
817 W,
BN コンポジット
アルミナ
コンポジッド
ぬれ性強いRM合金化
660
Si 99.999~
11N
2.34 1337
1147 ジルコニア
C
酸化物と反応
1410
Ti 99.8~
99.99
4.50
1453
1235 Ta C Wと反応しTaとは反応せず
1670
V 99.7 6.10
1547
1332 Mo Mo WとTaと合金化、
Moとは作らず
1902
Cr 99.8~
99.998
7.20
※1157
※977 W
C
1875
Mn 99.9~
99.99
7.44
647
572 Mo,Ta,W アルミナ
Mo,C
RMにぬれる
1244
Fe 99.9~
99.99
7.86
1180
998 W アルミナ
マグネシア
RWと合金化
1536
Co 99.0~
99.99
8.90
1200
990 W アルミナ
マグネシア
Mo,Ta,Wと合金化
1492
Ni 99.0~
99.96
8.90 1262
987 W アルミナ
マグネシア
Mo,Ta,Wと合金化
1453
Cu
99.9~
99.99
8.96 1017

857




Mo,Ta,W
Mo,BN,C
アルミナ

Mo,Ta,Wにややぬれる
1083.4
Zn
99.999
7.14 250

177




Mo,Ta,W
Mo,アルミナ
C

RMにぬれる
合金化せず
419.5
Ga
99.99
5.91 807

747





アルミナ

耐火物と反応
29.8
Ge
99.999
5.32 1167

957




Mo,Ta,W,G
アルミナ,C

RMにぬれる
Gにぬれにくい
937.3
Se
99.9~
99.99
4.79 170.1

127




Mo,W
アルミナ
C

毒性注意
ぬれ性強い
217
Y
99.9
4.48 1157

973




Ta,W
アルミナ
Ta


1502
Zr
99.2
6.49 1987

1702
スポンジ




W


Wとわずかに合金をつくる
1852
Nb
99.9
8.4 2287

1977




W


Wと合金をつくる
2467
Mo
99.9~
99.98
10.2 2117

1822







ワイヤへ直接通電可
2617
Rh
99.9
12.44 1707

1472




W
C
ジルコニア


1960
Pd
99.95
12.02 1192

997




W
アルミナ

RMと合金を作る
1552
Ag
99.99~
99,999
10.492 684

617




Mo,Ta,W
Mo,C
アルミナ

Wにぬれる
961
Cd
99.9~
99.999
8.65 180

120




Mo,Ta,W
アルミナ
Ta
不適
毒性注意
321.03
In
99.9~
99.999
7.31 742

597




Mo,W
Ta,Mo,C
アルミナ


156.6
Sn
99.9~
99.9999
7.29 997

807




Mo,Ta
Ta,C
アルミナ

Moぬらし反応
231.91
Sb
99.9999
6.62 425

345




Mo,Ta
BN,C
アルミナ
不適
毒性注意
631
Te
99.99~
99.9999
6.25 277

207




Mo,Ta,W
Mo,C,Ta
アルミナ
不適
毒性注意
449.8
希土類
99.9






Ta
アルミナ
不適

Hf
98.0
13.3 3090

2250 スポンジ









2227
Ta
99.9
16.6 2590

2240







ワイヤへ直接通電可
2998
W
99.95
19.3 2757

2407







酸化し易い
3380
Re

21.2 2571

2207








3160
Ir

22.5 2380

2080








2443
Pt
99.95~
99.995
21.45 1747

1492




W
C
ジルコニア

Ta,Nb,Moと合金を作る
1770
Au
99.99
19.3 1132

947




Mo,W
Mo,BN,G,W
アルミナ

W,Moぬらす
Taは合金を作る
1063
Pb
99.9999
11.4 497

427




Mo,Ta,W
W,Fe
アルミナ

RMとぬれない
327.3
Bi
99.9~
99.9999
9.8 520

410




Mo,Ta,W,Ni
Mo,C,Ta
アルミナ


271.37

※=昇華    ○=製作可能    RM=Mo,Ta,W等

 

※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。

※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。

※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。

※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。

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