ULVAC TECHNO,Ltd.
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【金属加工品】高融点金属加工品
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概要
ボート、フィラメント、アークチャンバー、ヒーターなど高融点金属加工品は、ステンレス鋼、銅（Cu）をはじめ、タングステン（W）、チタン（Ti）、モリブデン（Mo）、タンタル（Ta）など各種材質を取り扱っております。
半導体製造プロセス用としてイオン注入用アークチャンバー、スパッタ装置用シャッター治具などの特注製作も行っております。
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