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真空材料

【金属加工品】高融点金属加工品

概要

ボート、フィラメント、アークチャンバー、ヒーターなど高融点金属加工品は、ステンレス鋼、銅(Cu)をはじめ、タングステン(W)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)など各種材質を取り扱っています。 半導体製造プロセス用としてイオン注入用アークチャンバー、スパッタ装置用シャッター治具などの特注製作も行っています。

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