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概要
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ボート、フィラメント、アークチャンバー、ヒーターなど高融点金属加工品は、ステンレス鋼、銅(Cu)をはじめ、タングステン(W)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)など各種材質を取り扱っています。
半導体製造プロセス用としてイオン注入用アークチャンバー、スパッタ装置用シャッター治具などの特注製作も行っています。
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概要
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真空材料
のお問い合わせ先
アルバックテクノ株式会社 営業戦略本部
〒253-8555 神奈川県茅ヶ崎市萩園2609-5