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蒸着用黒鉛ルツボ
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概要
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仕様・特性・用途ほか
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アルミ蒸着用の黒鉛ルツボを取り扱っています。
その他必要な耐火ルツボ、ルツボ台、コイル台、断熱材、サポート、反応防止チタン板、ガラステープ、アルミ等を取り揃えています。
※
記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。
※
ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。
※
記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。
※
記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。
■表1 消耗品リスト
消耗品名
材質・形状
黒鉛ルツボ
黒鉛+特殊含浸処理
耐火ルツボ
耐熱性セラミックス
ルツボ台
耐熱性セラミックス
コイル台
耐熱性セラミックス
断熱材
黒鉛断熱材
サポート
絶縁セラミックス
反応防止Ti板
0.5mm×8mm×30mm
ガラステープ
0.25mm×25mm×30m
Al
ショット 2〜3mm粒
インゴット 50g、100g、200g、300g
■図1 アルミ蒸着源構造図
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のお問い合わせ先
アルバックテクノ株式会社 営業戦略本部
〒253-8555 神奈川県茅ヶ崎市萩園2609-5