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電子ビーム蒸着用ハースライナー

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｜概要｜仕様・特性・用途ほか｜

ハースライナーは、 EB蒸着機用コンタミネーション防止、クリーニングの軽減に役立ちます。

※	記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。
※	ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。
※	記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。
※	記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。

■実績例

原子番号	材料	適否
5	B	不適
6	C	不適
12	Mg	Al₂O₃、G、Mo
13	Al	アルミナコンポジット
14	Si	G、ZrO₂
22	Ti	G
23	V	Mo
24	Cr	G
25	Mn	G、Mo
26	Fe	Al₂O₃、ZrO₂
27	Co	Al₂O₃、MgO₂
28	Ni	Al₂O₃、MgO₂
29	Cu	Al₂O₃、BN、G、Mo
30	Zn	Al₂O₃、G、Mo
31	Ga	Al₂O₃、石英
32	Ge	Al₂O₃、G
34	Se	Al₂O₃、G
39	Y	Al₂O₃、Ta
40	Zr	－
41	Nb	－

原子番号	材料	適否
42	Mo	－
45	Rh	G、ZrO₂
46	Pd	Al₂O₃
47	Ag	Al₂O₃、G、Mo
48	Cd	不適
49	In	Al₂O₃、G、Mo、Ta
50	Sn	Al₂O₃、G、Ta
51	Sb	不適
52	Te	不適
	希土類	不適
72	Hf	－
73	Ta	－
74	W	－
75	Re	－
77	Ir	－
78	Pt	G、ZrO₂
79	Au	Al₂O₃、BN、G、Mo、W
82	Pb	Al₂O₃、Fe、W
83	Bi	Al₂O₃、G、Mo、Ta

G＝グラファイト

■ハース容量

蒸着源種類	容　量（cm³）
EGK-3	2.6
EGK-3M	2.9
EGL-35	40
EGL-35M	40または10
EGL-206M	20
EGL-406	40
EGL-110	110
EGL-80M	110
EGL-103S	10

｜概要｜仕様・特性・用途ほか｜

　

真空材料のお問い合わせ先
アルバックテクノ株式会社営業戦略本部
〒253-8555 神奈川県茅ヶ崎市萩園2609-5

　

　

　

　

　

　