ULVAC TECHNO,Ltd.
改善改良のご提案
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各種金属の高機能化皮膜処理を行っています。一般的なアルマイト処理から特殊表面処理まで幅広い技術でお応えしています。
各種真空装置・真空ポンプ・バルブ・真空計など幅広いメニューで中古機器をご案内。
真空機器・装置等で使用する消耗品部品等の価格検索や製品情報をご提供しています。
真空装置・真空ポンプ・計測機器・基板搬送ロボットメンテナンスのご案内。
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真空機器・装置のパフォーマンスをさらに高めるため、当社が独自にご提案するサービスのご案内。
真空メーカーならではの充実した真空機器・装置の部品・消耗品・コンポーネントをご案内。
セラミックス製品・耐火ルツボ・カーボン製品・ターゲット・蒸着材料などをご案内。
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募集要項・スケジュール・Q&Aなど。
チャンバー交換は、毎日のプロセス工程改善のキーともいえるものです。
■真空槽リニューアル
●古い装置を使い続けたい場合のご要望にお答えします。
【真空熱処理炉の水冷ジャケット式のチャンバーの載せ替え例】
※SSのチャンバーからSUSに変更し、最新の技術で製作されています。
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■チャンバーリニューアルについて
●補修を繰り返したチャンバーは、新規製作が必要となります。
■メリット
●最新の設計及び製造技術で製作するために品質が向上します。
●リニューアルの際に新機能を追加できます。 例：センサ類取り付け用のポートの追加、覗き窓取り付け、内部治具取付けスキルレス化
●同じ装置を使い続けられることにより、プロセスの変更や、条件変更は無くリニューアル後の装置の立ち上げが短期間で可能です。
●設計時に考慮すればスペアパーツもそのままお使いいただけます。
