小型スパッタリング装置
Model: QAM
最小コストで最大のパフォーマンスを実現する研究開発向けスパッタリング装置です。 処理室1のみ、搬送系追加、さらに処理室追加と拡張性を持たせており高温仕様等のオプションもご用意しております。 開発等の実験用に最適です。
真空メーカーならではの真空装置設計・製作の事例集をご紹介します。
主に「標準装置」「レガシー装置」「フルカスタム装置」に分類されます。
アルバックテクノ株式会社は、株式会社アルバックと同様に、半導体製造装置及び周辺関連装置の設計・製造を手がけています。
真空技術を核とした高度なエンジニアリング力を活かし、成膜装置を中心に各種プロセス装置を自社で開発・製造。
ULVACグループの一員として、お客様希望に合わせた高品質・高信頼性の製造装置を提供しています。
アルバックテクノ社は、定評いただいている装置のカスタマイズ対応力や現場ニーズへの柔軟な設計力により研究開発用途から量産ラインまで、幅広いニーズに応える製品群を今後も増やしていく予定です。ULVACブランドの技術思想を継承しつつ、独自の製造体制と万全のフィールドエンジニアリングを活かして、現在そして次世代半導体製造を支える装置づくりに貢献いたします。
アルバックテクノ株式会社では、ULVACグループの技術とノウハウを継承しながら、アルバックが過去に製造していたラインナップ装置の復刻を行っています。長年にわたり多くの研究機関・製造現場で活躍してきた装置を現代のニーズに合わせて再設計し最新の安全基準・操作性・信頼性を満たす形でよみがえらせています。復刻装置は、既存ラインの延命や研究用途での継続使用を望むお客様から高い評価を受けており「当時の使い勝手はそのままに、必要な部分だけをアップデートしたい」という声にも柔軟に対応できるのが私共の強みです。
ULVACブランドの歴史を支えてきた装置を、現代の技術で再構築することで、
装置資産の価値を最大限に活かし、安定した生産・研究環境の継続に貢献いたします。
アルバックテクノ株式会社では、お客様それぞれのご希望やプロセス要件に合わせた装置の設計・製造を行っています。
ULVACグループで培われた真空技術・プロセス技術を基盤に、研究用途から量産ラインまで、幅広いニーズに応じた最適な装置ソリューションを提供しています。
そういったご要望に対し、経験豊富なエンジニアが丁寧にヒアリングを行い、完全オーダーメイドの装置設計にも柔軟に対応します。
ULVACブランドの技術思想を継承しながら、アルバックテクノ独自の開発力と製造体制を活かし、
お客様の課題解決に直結する装置づくりを実現しています。
小型スパッタリング装置
最小コストで最大のパフォーマンスを実現する研究開発向けスパッタリング装置です。 処理室1のみ、搬送系追加、さらに処理室追加と拡張性を持たせており高温仕様等のオプションもご用意しております。 開発等の実験用に最適です。
小型スパッタリング装置
RF電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。 カソード1基と用途を限定し様々な膜種に対応したコストパフォーマンスにすぐれた装置です。
小型スパッタリング装置
RF電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。 カソード1基と用途を限定し様々な膜種に対応したコストパフォーマンスにすぐれた装置です。
小型蒸着装置
架台内に油回転ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・制御測定ボード等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルシャー昇降装置を有する抵抗加熱式高速真空蒸着装置です。 大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験に最適です。
小型蒸着装置
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した抵抗加熱式小型蒸着装置です。 小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
小型蒸着装置
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ボード等の必要機器をコンパクトに収納したコストパフォーマンスにすぐれた抵抗加熱式小型蒸着装置です。 小さい基板サイズの基礎研究等の実験用に最適です。
小型蒸着装置
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
枚葉式スパッタリング装置
多くの販売実績を誇り現在も多く現役稼働しているベストセラー装置、CERAUSシリーズ。確実な高品質への信頼と現代的な再設計アップデートが融合しました。
スペースチャンバー、磁気計測チャンバー、アニール炉、真空乾燥、真空排気、真空熱処理、PLD成膜、電気特性耐久性評価、ガス封止真空排気、リーク試験、その他実績多数。
こんな装置が欲しい、お気軽に下記フォームよりご相談ください。
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