改善改良のご提案:事例集[4]その他
その他、当社ではキメ細かな改善改良にお応えしています。
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その他の実例
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【排気系】
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●油回転ポンプからドライポンプへ載せ替え
●拡散ポンプからターボ分子ポンプやクライオポンプへ載せ替え
●排気時間短縮のための排気系大型化
●油回転ポンプのオイル中の水分除去のため油水分離機取り付け
●各種トラップ取付けや配管変更工事 APCユニット取付け
「ポンプ特性表」をご参考ください。
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【制御系】
●コントローラ交換(PLC、コンピュータ等)
●制御ラック内部全体をリニューアル
【電源系】
●電源の交換(リニューアル)
●真空管式RF電源やEB電源からソリッドステート型電源へ載せ替え
●加熱電源を交換しON/OFF制御からPID制御へ変更
【測定系】
●真空計の載せ替えによる精度アップ
●温調計交換
●膜厚コントローラ交換
【搬送系】
●搬送用モータリニューアル
●搬送用ロボットのリニューアル
●後継機種へ載せ替え
●搬送コントローラリニューアル
【ガス系】
●ガス種変更、流量変更、ガス追加等
【蒸着源系】
●蒸着源系の変更、抵抗蒸着源からEBGUNへ
●スパッタカソードの改善
【内部治具】
●内部治具の取り付けのスキルレス化
●内部治具の材質変更による長寿命化
●熱処理の温度分布改善
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