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改善改良のご提案:事例集[4]その他

その他、当社ではキメ細かな改善改良にお応えしています。

その他の実例

【排気系】

●油回転ポンプからドライポンプへ載せ替え

●拡散ポンプからターボ分子ポンプやクライオポンプへ載せ替え

●排気時間短縮のための排気系大型化

●油回転ポンプのオイル中の水分除去のため油水分離機取り付け

●各種トラップ取付けや配管変更工事  APCユニット取付け

 「ポンプ特性表」をご参考ください。


【制御系】

●コントローラ交換(PLC、コンピュータ等)

●制御ラック内部全体をリニューアル

【電源系】

●電源の交換(リニューアル)

●真空管式RF電源やEB電源からソリッドステート型電源へ載せ替え

●加熱電源を交換しON/OFF制御からPID制御へ変更

【測定系】

●真空計の載せ替えによる精度アップ

●温調計交換

●膜厚コントローラ交換

【搬送系】

●搬送用モータリニューアル

●搬送用ロボットのリニューアル

●後継機種へ載せ替え

●搬送コントローラリニューアル

【ガス系】

●ガス種変更、流量変更、ガス追加等

【蒸着源系】

●蒸着源系の変更、抵抗蒸着源からEBGUNへ

●スパッタカソードの改善

【内部治具】

●内部治具の取り付けのスキルレス化

●内部治具の材質変更による長寿命化

●熱処理の温度分布改善


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