-
真空ポンプのメンテナンス：真空ポンプ特性表
油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、油回転ポンプ、ドライポンプの特性一覧です。
■主ポンプ
| 項 目 | 油拡散ポンプ | ターボ分子ポンプ | クライオポンプ | 備考 |
|---|---|---|---|---|
| 初期投資金額 | 安い | 高い | 高い | |
| 消費電力 | やや多い | 少ない | 多い | |
| 冷却水 | 必須 | 空冷と水冷が有る | 必須 | |
| 液体窒素 | 必要 | 不要 | 不要 | |
| メンテナンスコスト | 安い | 高い | やや高い | |
| 始動、停止時間 | 長い | 短い | 最も長い | |
| 振動 | ない | 微振動あり | やや有る | |
| 異物混入時の耐久性 | 強い | 弱い | やや強い | ガラス金属片を想定 |
| 真空の質 | 汚い | きれい | きれい | 油拡散ポンプは油の逆流が有る |
| 自動操作の容易さ | 複雑 | 簡単 | やや簡単 | |
| 開口径に対する排気速度 | 大 | 少 | 大 | |
| 大容量化 | 容易 | 困難 | 容易 | |
| 少容量化 | やや容易 | やや容易 | 困難 | |
| メリット | 開口径に対しての排気速度が大きい。 メンテナンスが用意で初期投資及びランニングコストが安い。 |
起動時間が短く、操作が簡単。ランニングコストが安い。 排気速度が安定している。 真空の質がきれい。 |
開口径に対する排気速度が大きい。 立ち上がった後、補助排気が不要。 真空の質はきれい。 |
|
| デメリット | 油の逆流が有り油汚染が有る。 水冷トラップが必須、一般的には液体窒素等のコールドトラップが必要。 |
到達圧力を確保したい場合コールドトラップが必要。 開口径に対する排気速度が小さい。 クラッシュした場合ポンプはほぼ全損。 |
定期的なメンテナンスが必要。 Ｈｅコンプレッサーが必要。 立ち上げ時間が長く、再生操作が必要。 |
■主ポンプ
| 項目 | 油回転ポンプ | ドライポンプ | 備 考 |
|---|---|---|---|
| 初期投資金額 | 安い | 高い | |
| 消費電力 | やや多い | 多い | ドライポンプは省エネタイプが市場に出ている。 |
| 冷却水 | 必要なポンプも有る | 必須 | |
| パージガス | 不要 | 一般的には必要 | |
| メンテナンスコスト | 安い | 高い | |
| 振動 | ポンプによる | 微振動あり | |
| 真空の質 | 汚い | きれい | |
| 到達圧力 | 良い | 悪い | |
| 大容量化 | 容易 | 困難 | |
| 少容量化 | やや容易 | 困難 | ドライポンプはダイヤフラムポンプで有れば小型のポンプが存在する。 |
真空ポンプ特性表おすすめコンテンツ
