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真空ポンプのメンテナンス:油回転ポンプのトラブルチェック
ポンプにみられる現象にあわせた処置方法です。 具体的なチェック項目と、それらに対応した処置法をご紹介しています。
ポンプにみられる現象 ※該当するものを選んでください |
処置方法 | |
---|---|---|
圧力が下がらない | ![]() |
漏れを探す、給油管回りの締付けの緩みチェック、オイルフィルタの緩みチェック、排気弁の当たり具合チェック |
外部に油が漏れてくる | ![]() |
オイルシールの交換 |
回転はするが音が大きい(異常音) | ![]() |
排気弁、弁ガイド、スライドベーンの当たりをチェック |
ポンプが回転しない | ![]() |
手で回してみて回らなければ分解 |
ポンプの起動が困難(冬期) | ![]() |
サーマルリレーの設定値、油が正規のものか否かチェック |
ポンプが振動する | ![]() |
排気弁の倒れ、ベアリングの外輪のかじりチェック |
ヒューズ(ブレーカ)が切れる | ![]() |
電流などを測定 |
オイルカップの油の減りが早い | ![]() |
オイルシール交換 |
オイルレベルゲージが飛び出す | ![]() |
オイルミストトラップが詰まっていないかチェック |
排気口から油が噴き出す | ![]() |
点検修理または交換 |
ベアリングのグリースがたれてくる | ![]() |
点検修理または交換 |
ポンプの壁温が非常に高い | ![]() |
排気弁チェック、油の流れチェック |
初期は性能満足していたが圧力が上昇する現象がある | ![]() |
点検修理 |
回転にむらが出る、しだいに回らなくなった | ![]() |
分解手入れ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
モータプーリは回っているか | ![]() |
電気がきている状態にする | ![]() |
|
ポンププーリは回っているか | ![]() |
電気がきている状態にする | ![]() |
|
冷却水が流れているか | ![]() |
冷却水が流れていることを目で確認する | ![]() |
フローメーターの取付け |
ベルトが緩んでいないか | ![]() |
モータをスライドさせてベルトを張る | ![]() |
|
プーリーキーが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
|
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
|
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
水分系を排気していないか | ![]() |
ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる | ![]() |
WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
油の循環が正しく行われているか | ![]() |
油循環バルブなどが正常なことを目で確認する | ![]() |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
冷却水が流れているか | ![]() |
冷却水が流れていることを目で確認する | ![]() |
フローメーターの取付け |
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
溶解蒸気を吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段に用途別トラップを入れる | ![]() |
WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] OFシリーズ[PDF 341k] |
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | ![]() |
油の交換をよく行う。用途別油を使用する | ![]() |
交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
回転方向は正しいか | ![]() |
回転方向を正しくする | ![]() |
|
ベルトが緩んでいないか | ![]() |
モータをスライドさせてベルトを張る | ![]() |
|
プーリーキーが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
|
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
|
油はレベルまで入っているか | ![]() |
油は規定量とする。不足のときは補給する | ![]() |
|
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | ![]() |
油の交換をよく行う。用途別油を使用する | ![]() |
交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
モータプーリは回っているか | ![]() |
電気がきている状態にする | ![]() |
|
ポンププーリは回っているか | ![]() |
電気がきている状態にする | ![]() |
|
ベルトが緩んでいないか | ![]() |
モータをスライドさせてベルトを張る | ![]() |
|
プーリーキーが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
|
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
水分系を排気していないか | ![]() |
ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる | ![]() |
WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
810k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
ガスバラストバルブが開いているか | ![]() |
ガスバラストバルブを手で閉める | ![]() |
|
ベルトが緩んでいないか | ![]() |
モータをスライドさせてベルトを張る | ![]() |
|
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
回転方向は正しいか | ![]() |
回転方向を正しくする | ![]() |
|
ベルトが緩んでいないか | ![]() |
モータをスライドさせてベルトを張る | ![]() |
|
プーリーキーが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
|
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
冷却水が流れているか | ![]() |
冷却水が流れていることを目で確認する | ![]() |
フローメーターの取付け |
ガスバラストバルブが開いているか | ![]() |
ガスバラストバルブを手で閉める | ![]() |
|
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
水分系を排気していないか | ![]() |
ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる | ![]() |
WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | ![]() |
油の交換をよく行う。用途別油を使用する | ![]() |
交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
冷却水が流れているか | ![]() |
冷却水が流れていることを目で確認する | ![]() |
フローメーターの取付け |
油はレベルまで入っているか | ![]() |
油は規定量とする。不足のときは補給する | ![]() |
|
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
溶解蒸気を吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段に用途別トラップを入れる | ![]() |
WTシリーズ[PDF
810k] CTシリーズ[PDF 810k] OFシリーズ[PDF 341k] |
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | ![]() |
油の交換をよく行う。用途別油を使用する | ![]() |
交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | ![]() |
油の交換をよく行う。用途別油を使用する | ![]() |
交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
回転方向は正しいか | ![]() |
回転方向を正しくする | ![]() |
|
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | ![]() |
油の交換をよく行う。用途別油を使用する | ![]() |
交換周期目安表 オイルカタログ |
ポンプ回り(例、配管)に漏れはないか | ![]() |
漏れを止める | ![]() |
|
油量を入れ過ぎていないか | ![]() |
規定量水準まで減らす | ![]() |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
冷却水が流れているか | ![]() |
冷却水が流れていることを目で確認する | ![]() |
フローメーターの取付け |
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | ![]() |
油の交換をよく行う。用途別油を使用する | ![]() |
交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
回転数は正しいか(50Hz・60Hz正しいプーリ) | ![]() |
サイクル数に合わせたモータプーリに取り替える | ![]() |
|
冷却水が流れているか | ![]() |
冷却水が流れていることを目で確認する | ![]() |
フローメーターの取付け |
ガスバラストバルブが開いているか | ![]() |
ガスバラストバルブを手で閉める | ![]() |
|
油はレベルまで入っているか | ![]() |
油は規定量とする。不足のときは補給する | ![]() |
|
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | ![]() |
油の交換をよく行う。用途別油を使用する | ![]() |
交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
冷却水が流れているか | ![]() |
冷却水が流れていることを目で確認する | ![]() |
フローメーターの取付け |
ガスバラストバルブが開いているか | ![]() |
ガスバラストバルブを手で閉める | ![]() |
|
油はレベルまで入っているか | ![]() |
油は規定量とする。不足のときは補給する | ![]() |
|
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
溶解蒸気を吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段に用途別トラップを入れる | ![]() |
WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] OFシリーズ[PDF 341k] |
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタを入れる | ![]() |
DSシリーズ[PDF
342k] |
ポンプ回り(例、配管)に漏れはないか | ![]() |
漏れを止める | ![]() |
|
新しいポンプ油を入れたばかりか | ![]() |
しばらく運転を続ける(アウトガス) | ![]() |
|
油の循環が正しく行われているか | ![]() |
油循環バルブなどが正常なことを目で確認する | ![]() |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
モータプーリは回っているか | ![]() |
電気がきている状態にする | ![]() |
|
ポンププーリは回っているか | ![]() |
電気がきている状態にする | ![]() |
|
冷却水が流れているか | ![]() |
冷却水が流れていることを目で確認する | ![]() |
フローメーターの取付け |
ベルトが緩んでいないか | ![]() |
モータをスライドさせてベルトを張る | ![]() |
|
プーリーキーが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
|
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか | ![]() |
緩みを直す | ![]() |
|
油が汚れていないか | ![]() |
汚れていれば新しい油と交換する | ![]() |
|
水分系を排気していないか | ![]() |
ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる | ![]() |
WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
ダストを吸引していないか | ![]() |
ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | ![]() |
OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
油の循環が正しく行われているか | ![]() |
油循環バルブなどが正常なことを目で確認する | ![]() |
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