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真空ポンプのメンテナンス:油回転ポンプのトラブルチェック
ポンプにみられる現象にあわせた処置方法です。 具体的なチェック項目と、それらに対応した処置法をご紹介しています。
ポンプにみられる現象 ※該当するものを選んでください |
処置方法 | |
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圧力が下がらない | 漏れを探す、給油管回りの締付けの緩みチェック、オイルフィルタの緩みチェック、排気弁の当たり具合チェック | |
外部に油が漏れてくる | オイルシールの交換 | |
回転はするが音が大きい(異常音) | 排気弁、弁ガイド、スライドベーンの当たりをチェック | |
ポンプが回転しない | 手で回してみて回らなければ分解 | |
ポンプの起動が困難(冬期) | サーマルリレーの設定値、油が正規のものか否かチェック | |
ポンプが振動する | 排気弁の倒れ、ベアリングの外輪のかじりチェック | |
ヒューズ(ブレーカ)が切れる | 電流などを測定 | |
オイルカップの油の減りが早い | オイルシール交換 | |
オイルレベルゲージが飛び出す | オイルミストトラップが詰まっていないかチェック | |
排気口から油が噴き出す | 点検修理または交換 | |
ベアリングのグリースがたれてくる | 点検修理または交換 | |
ポンプの壁温が非常に高い | 排気弁チェック、油の流れチェック | |
初期は性能満足していたが圧力が上昇する現象がある | 点検修理 | |
回転にむらが出る、しだいに回らなくなった | 分解手入れ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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モータプーリは回っているか | 電気がきている状態にする | |||
ポンププーリは回っているか | 電気がきている状態にする | |||
冷却水が流れているか | 冷却水が流れていることを目で確認する | フローメーターの取付け | ||
ベルトが緩んでいないか | モータをスライドさせてベルトを張る | |||
プーリーキーが緩んでいないか | 緩みを直す | |||
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか | 緩みを直す | |||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
水分系を排気していないか | ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる | WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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油の循環が正しく行われているか | 油循環バルブなどが正常なことを目で確認する |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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冷却水が流れているか | 冷却水が流れていることを目で確認する | フローメーターの取付け | ||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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溶解蒸気を吸引していないか | ポンプ前段に用途別トラップを入れる | WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] OFシリーズ[PDF 341k] |
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ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
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高い吸入圧力で連続運転をしていないか | 油の交換をよく行う。用途別油を使用する | 交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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回転方向は正しいか | 回転方向を正しくする | |||
ベルトが緩んでいないか | モータをスライドさせてベルトを張る | |||
プーリーキーが緩んでいないか | 緩みを直す | |||
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか | 緩みを直す | |||
油はレベルまで入っているか | 油は規定量とする。不足のときは補給する | |||
ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
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高い吸入圧力で連続運転をしていないか | 油の交換をよく行う。用途別油を使用する | 交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
---|---|---|---|---|
モータプーリは回っているか | 電気がきている状態にする | |||
ポンププーリは回っているか | 電気がきている状態にする | |||
ベルトが緩んでいないか | モータをスライドさせてベルトを張る | |||
プーリーキーが緩んでいないか | 緩みを直す | |||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
水分系を排気していないか | ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる | WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
810k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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ガスバラストバルブが開いているか | ガスバラストバルブを手で閉める | |||
ベルトが緩んでいないか | モータをスライドさせてベルトを張る | |||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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回転方向は正しいか | 回転方向を正しくする | |||
ベルトが緩んでいないか | モータをスライドさせてベルトを張る | |||
プーリーキーが緩んでいないか | 緩みを直す | |||
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか | 緩みを直す |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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冷却水が流れているか | 冷却水が流れていることを目で確認する | フローメーターの取付け | ||
ガスバラストバルブが開いているか | ガスバラストバルブを手で閉める | |||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
水分系を排気していないか | ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる | WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
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高い吸入圧力で連続運転をしていないか | 油の交換をよく行う。用途別油を使用する | 交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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冷却水が流れているか | 冷却水が流れていることを目で確認する | フローメーターの取付け | ||
油はレベルまで入っているか | 油は規定量とする。不足のときは補給する | |||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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溶解蒸気を吸引していないか | ポンプ前段に用途別トラップを入れる | WTシリーズ[PDF
810k] CTシリーズ[PDF 810k] OFシリーズ[PDF 341k] |
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ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
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高い吸入圧力で連続運転をしていないか | 油の交換をよく行う。用途別油を使用する | 交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
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高い吸入圧力で連続運転をしていないか | 油の交換をよく行う。用途別油を使用する | 交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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回転方向は正しいか | 回転方向を正しくする | |||
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | 油の交換をよく行う。用途別油を使用する | 交換周期目安表 オイルカタログ |
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ポンプ回り(例、配管)に漏れはないか | 漏れを止める | |||
油量を入れ過ぎていないか | 規定量水準まで減らす |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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冷却水が流れているか | 冷却水が流れていることを目で確認する | フローメーターの取付け | ||
高い吸入圧力で連続運転をしていないか | 油の交換をよく行う。用途別油を使用する | 交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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回転数は正しいか(50Hz・60Hz正しいプーリ) | サイクル数に合わせたモータプーリに取り替える | |||
冷却水が流れているか | 冷却水が流れていることを目で確認する | フローメーターの取付け | ||
ガスバラストバルブが開いているか | ガスバラストバルブを手で閉める | |||
油はレベルまで入っているか | 油は規定量とする。不足のときは補給する | |||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
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高い吸入圧力で連続運転をしていないか | 油の交換をよく行う。用途別油を使用する | 交換周期目安表 オイルカタログ |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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冷却水が流れているか | 冷却水が流れていることを目で確認する | フローメーターの取付け | ||
ガスバラストバルブが開いているか | ガスバラストバルブを手で閉める | |||
油はレベルまで入っているか | 油は規定量とする。不足のときは補給する | |||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
溶解蒸気を吸引していないか | ポンプ前段に用途別トラップを入れる | WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] OFシリーズ[PDF 341k] |
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ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか | ポンプ前段にフィルタを入れる | DSシリーズ[PDF
342k] |
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ポンプ回り(例、配管)に漏れはないか | 漏れを止める | |||
新しいポンプ油を入れたばかりか | しばらく運転を続ける(アウトガス) | |||
油の循環が正しく行われているか | 油循環バルブなどが正常なことを目で確認する |
チェック項目 | 処置方法 | ULVAC推奨オプション | ||
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モータプーリは回っているか | 電気がきている状態にする | |||
ポンププーリは回っているか | 電気がきている状態にする | |||
冷却水が流れているか | 冷却水が流れていることを目で確認する | フローメーターの取付け | ||
ベルトが緩んでいないか | モータをスライドさせてベルトを張る | |||
プーリーキーが緩んでいないか | 緩みを直す | |||
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか | 緩みを直す | |||
油が汚れていないか | 汚れていれば新しい油と交換する | |||
水分系を排気していないか | ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる | WTシリーズ[PDF
342k] CTシリーズ[PDF 342k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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ダストを吸引していないか | ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する | OTシリーズ[PDF
342k] TROシリーズ[PDF 299k] OFシリーズ[PDF 341k] UFO・UFWシリーズ[PDF 117k] |
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油の循環が正しく行われているか | 油循環バルブなどが正常なことを目で確認する |
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