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真空ポンプのメンテナンス:油回転ポンプのトラブルチェック

ポンプにみられる現象にあわせた処置方法です。 具体的なチェック項目と、それらに対応した処置法をご紹介しています。

ポンプにみられる現象
※該当するものを選んでください
  処置方法
圧力が下がらない 漏れを探す、給油管回りの締付けの緩みチェック、オイルフィルタの緩みチェック、排気弁の当たり具合チェック
外部に油が漏れてくる オイルシールの交換
回転はするが音が大きい(異常音) 排気弁、弁ガイド、スライドベーンの当たりをチェック
ポンプが回転しない 手で回してみて回らなければ分解
ポンプの起動が困難(冬期) サーマルリレーの設定値、油が正規のものか否かチェック
ポンプが振動する 排気弁の倒れ、ベアリングの外輪のかじりチェック
ヒューズ(ブレーカ)が切れる 電流などを測定
オイルカップの油の減りが早い オイルシール交換
オイルレベルゲージが飛び出す オイルミストトラップが詰まっていないかチェック
排気口から油が噴き出す 点検修理または交換
ベアリングのグリースがたれてくる 点検修理または交換
ポンプの壁温が非常に高い 排気弁チェック、油の流れチェック
初期は性能満足していたが圧力が上昇する現象がある 点検修理
回転にむらが出る、しだいに回らなくなった 分解手入れ

圧力が下がらない

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
モータプーリは回っているか 電気がきている状態にする  
ポンププーリは回っているか 電気がきている状態にする  
冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け
ベルトが緩んでいないか モータをスライドさせてベルトを張る  
プーリーキーが緩んでいないか 緩みを直す  
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか 緩みを直す  
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する  
水分系を排気していないか ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる WTシリーズ[PDF 342k]
CTシリーズ[PDF 342k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 342k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
油の循環が正しく行われているか 油循環バルブなどが正常なことを目で確認する  

外部に油が漏れてくる

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する  
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 342k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
溶解蒸気を吸引していないか ポンプ前段に用途別トラップを入れる WTシリーズ[PDF 342k]
CTシリーズ[PDF 342k]
OFシリーズ[PDF 341k]
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]
高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。用途別油を使用する 交換周期目安表
オイルカタログ

回転はするが音が大きい(異常音)

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
回転方向は正しいか 回転方向を正しくする  
ベルトが緩んでいないか モータをスライドさせてベルトを張る  
プーリーキーが緩んでいないか 緩みを直す  
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか 緩みを直す  
油はレベルまで入っているか 油は規定量とする。不足のときは補給する  
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 342k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]
高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。用途別油を使用する 交換周期目安表
オイルカタログ

ポンプが回転しない

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
モータプーリは回っているか 電気がきている状態にする  
ポンププーリは回っているか 電気がきている状態にする  
ベルトが緩んでいないか モータをスライドさせてベルトを張る  
プーリーキーが緩んでいないか 緩みを直す  
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する

水分系を排気していないか ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる WTシリーズ[PDF 342k]
CTシリーズ[PDF 342k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 810k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]

ポンプの起動が困難(冬期)

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
ガスバラストバルブが開いているか ガスバラストバルブを手で閉める  
ベルトが緩んでいないか モータをスライドさせてベルトを張る  
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する  
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 342k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]

ポンプが振動する

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
回転方向は正しいか 回転方向を正しくする  
ベルトが緩んでいないか モータをスライドさせてベルトを張る  
プーリーキーが緩んでいないか 緩みを直す  
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか 緩みを直す  

ヒューズ(ブレーカ)が切れる

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け
ガスバラストバルブが開いているか ガスバラストバルブを手で閉める  
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する  
水分系を排気していないか ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる WTシリーズ[PDF 342k]
CTシリーズ[PDF 342k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 342k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]
高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。用途別油を使用する 交換周期目安表
オイルカタログ

オイルカップの油の減りが早い

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け
油はレベルまで入っているか 油は規定量とする。不足のときは補給する  
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する  
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 342k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
溶解蒸気を吸引していないか ポンプ前段に用途別トラップを入れる WTシリーズ[PDF 810k]
CTシリーズ[PDF 810k]
OFシリーズ[PDF 341k]
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]
高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。用途別油を使用する 交換周期目安表
オイルカタログ

オイルレベルゲージが飛び出す

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 342k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]
高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。用途別油を使用する 交換周期目安表
オイルカタログ

排気口から油が噴き出す

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
回転方向は正しいか 回転方向を正しくする  
高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。用途別油を使用する 交換周期目安表
オイルカタログ
ポンプ回り(例、配管)に漏れはないか 漏れを止める  
油量を入れ過ぎていないか 規定量水準まで減らす  

ベアリングのグリースがたれてくる

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け
高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。用途別油を使用する 交換周期目安表
オイルカタログ

ポンプの壁温が非常に高い

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
回転数は正しいか(50Hz・60Hz正しいプーリ) サイクル数に合わせたモータプーリに取り替える  
冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け
ガスバラストバルブが開いているか ガスバラストバルブを手で閉める  
油はレベルまで入っているか 油は規定量とする。不足のときは補給する  
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する  
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]
高い吸入圧力で連続運転をしていないか 油の交換をよく行う。用途別油を使用する 交換周期目安表
オイルカタログ

初期は性能満足していたが圧力が上昇する現象がある

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け
ガスバラストバルブが開いているか ガスバラストバルブを手で閉める  
油はレベルまで入っているか 油は規定量とする。不足のときは補給する  
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する  
溶解蒸気を吸引していないか ポンプ前段に用途別トラップを入れる WTシリーズ[PDF 342k]
CTシリーズ[PDF 342k]
OFシリーズ[PDF 341k]
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ポンプ前段にフィルタを入れる DSシリーズ[PDF 342k]
ポンプ回り(例、配管)に漏れはないか 漏れを止める  
新しいポンプ油を入れたばかりか しばらく運転を続ける(アウトガス)  
油の循環が正しく行われているか 油循環バルブなどが正常なことを目で確認する  

回転にむらが出る、しだいに回らなくなった

チェック項目   処置方法   ULVAC推奨オプション
モータプーリは回っているか 電気がきている状態にする  
ポンププーリは回っているか 電気がきている状態にする  
冷却水が流れているか 冷却水が流れていることを目で確認する フローメーターの取付け
ベルトが緩んでいないか モータをスライドさせてベルトを張る  
プーリーキーが緩んでいないか 緩みを直す  
モータベースのボルトや基礎ボルトのベルトが緩んでいないか 緩みを直す  
油が汚れていないか 汚れていれば新しい油と交換する  
水分系を排気していないか ポンプ前段にトラップを入れる。水分排気時はガスバラストを作動させる WTシリーズ[PDF 342k]
CTシリーズ[PDF 342k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
ダストを吸引していないか ポンプ前段にフィルタとラップを入れることで吸引防止する OTシリーズ[PDF 342k]
TROシリーズ[PDF 299k]
OFシリーズ[PDF 341k]
UFO・UFWシリーズ[PDF 117k]
油の循環が正しく行われているか 油循環バルブなどが正常なことを目で確認する  

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