-
VACAL®【バッカル】:特長
-
-
●表面写真比較
クラックの発生を極めて少なくするアルミニウムおよびその合金上へのアルマイト皮膜処理
●従来型硬質アルマイトとVACAL®(バッカル)の比較
硬質 アルマイト |
バッカル®-SAL | バッカル®-OX (A5052) |
バッカル®-OX (A6061) |
備 考 | ||
---|---|---|---|---|---|---|
成膜範囲 | 10~50µ | 10~30µ | 30µ | 30µ | ||
発色 | 母材色→黒色 | 母材色→灰色 | 金色(黒系) | 灰色(青系) | ||
硬度 (HV) |
表面 | 約400 | 約370 | 約400 | 約300 | 膜厚30µ |
断面 | 約370 | 約360 | 膜厚30µ | |||
表面粗さ(Ra) | 加工状態による | 加工状態による | 加工状態による | 加工状態による | 最適化なし | |
- | 1.3~2.2µ | 1.3~2.2µ | 1.3~2.2µ | 最適化あり | ||
クラック | 成膜直後 | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | 圧延材の場合 |
加熱後 | × | ○ | ◎ | ◎ | 400℃炉冷 | |
封孔+加熱 | × | △ | × | × | ||
耐摩 耗性 |
テーバー 摩耗試験 |
10mg以下 | 10mg以下 | 10mg以下 | 10000回転 | |
放出 ガス量 |
封孔なし | ○ | ◎ | |||
封孔あり | △ | × | ||||
封孔+400℃48hr | ◎ | ◎ |
NF3プラズマ暴露試験
アルマイト皮膜をNF3プラズマに曝した後、EPMAにて分析しました。結果からアルマイト表面のクラック部分に「F」が検出されていることがわかります。反応性ガスはクラック部分で「AL」と反応し、これがパーティクルの発生に繋がると考えられます。
通常、アルマイトは成膜時および加熱時に多量のクラックが発生します。
クラックの発生を極限まで抑えたバッカル®は、パーティクルの発生を抑え、保護皮膜としての長寿命化を実現しました。
成膜直後に比較するとVACAL®(バッカル)表面はクラックの数が硬質アルマイトと比べ格段に少ない。熱が加わると素地のアルミ、アルマイト皮膜(AL2O3)熱膨張係数の違いによりクラックが増加するが、VACAL®(バッカル)の場合クラックの発生は認められるものの、硬質アルマイトと比べ増加傾向が全く異なります。