-
VACAL®【バッカル】：仕様
クラックの発生を極めて少なくした真空装置向け特殊アルマイト処理
-
VACAL®（バッカル）仕様記号例
CVDやエッチング装置用の電極、防着板、シャワープレート、ベースプレートなどの真空構成部品、一般電子部品などの耐食性・耐久性の向上に適しています。
VACAL®処理説明
| 項 目 | 内 容 | ||
|---|---|---|---|
| 最大処理寸法 mm(superscript:＊2) |
硫酸系 | SAL | 800(W)×4500(L)×4000(H) |
| 蓚酸系 | OX | 500(W)×1150(L)×1100(H) | |
| 適用材質 | Ａ５０５２、Ａ６０６１ | ||
| 膜厚 | SAL：15～30μ OX：20～30μ | ||
| 膜厚公差 | 指定膜厚に対し±10μ | ||
| マスキング | 個別指示により対応可能＊２ | ||
| 成膜前処理 | マスク面を除き最適化処理を実施〔仕上り表面は若干梨地状〕 | ||
| 成膜後処理 | 沸騰水封孔、加圧蒸気封孔 | ||
| 洗浄・包装 | 別途、ご指示により、精密洗浄後に脱気二重包装可能 | ||
＊１： 処理可能サイズは材質、重量、形状等によりできない場合もありますので、ご相談ください。
＊２： マスキング箇所の数量や難易度によっては、処理日数が長くなる場合があります。
＊： ベーキング（真空加熱脱水処理）も可能。別途お問合せください。
注意１： バッカル®処理をする上でラック（電極保持）位置が必要となります。また、ラック部分には成膜されませんので、打合せにより、位置決定が必要です。
注意２： アルマイト処理（バッカル処理・タフラム処理）について異種金属の組込み（ヘリサート等の挿入や鉄ビンの圧入）がある場合は、アルマイト処理時に溶解してしまいますので、必ず除去してご依頼ください。圧入などで取り外しができない場合は、マスキングで対応できる場合がありますので、事前にご相談ください。
記号一覧表
| 項 目 | 記 号 | 内 容 | |
|---|---|---|---|
| 封孔 | W | 沸騰水封孔 | |
| V | 加圧蒸気封孔 | ||
| N | 封孔無し | ||
| 膜厚 | 単位を除く数値 | 10～30µ | |
| 最適化処理 | ０ | 無し | |
| １ | 有り | ||
| ベーキング | ０ | 無し | |
| １ | 有り | ||
| 洗浄・包装 | A | 精密洗浄後に２重真空パック | |
| B | 洗浄無しビニール包装 | ||
