アッシャー（asher）

アッシャー（asher）ではアッシング（半導体ウエハー上の回路を形成するために不要な部分を化学的に削り取るプロセス）を実施します。

有機物であるフォトレジストをプラズマ化した酸素によってアッシング（灰化）し、炭酸ガス（CO2）と水蒸気（H2O）として排気します。

反応を促進するためにハロゲンプラズマの添加も行われます。一般には石英やパイレックス製の円筒容器が使用されます。

高周波印加方式にはダイオード型の有電極方式と無電極（コイルや外部電極）方式があります。試料へのプラズマダメージを低減するため、マイクロ波励起型のダウンフロー型やRIEとの複合型もあります。