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真空材料

【カーボン製品】蒸着用黒鉛ルツボ

概要

アルミ蒸着用の黒鉛ルツボを取り扱っています。
その他必要な耐火ルツボ、ルツボ台、コイル台、断熱材、サポート、反応防止チタン板、ガラステープ、アルミ等を取り揃えています。

仕様・特性・用途ほか

■表1 消耗品リスト

消耗品名 材質・形状
1)黒鉛ルツボ 黒鉛+特殊含浸処理
2)耐火ルツボ 耐熱性セラミックス
3)ルツボ台 耐熱性セラミックス
4)コイル台 耐熱性セラミックス
5)断熱材 黒鉛断熱材
6)サポート 絶縁セラミックス
7)反応防止Ti板 0.5mm×8mm×30mm
8)ガラステープ 0.25mm×25mm×30m
9)Al ショット2~3mm粒 インゴット50g、100g、200g、300g

■図1 アルミ蒸着源構造図


 


 

※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。

※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。

※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。

※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。

 

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