アルバック・クライオ製クライオポンプ用コンプレッサーのアドソーバーの交換方法とは？

アルバック・クライオ製クライオポンプ用コンプレッサーユニットC30VRを例に、アドソーバー交換の方法について動画で解説しています。

使用する工具：30mmスパナ,26mmスパナ,プラスドライバー,10mmスパナ

コンプレッサーユニット背面から作業を行います。

1）30mmスパナ、26mmスパナを使用して、コンプレッサーからフレキホースを取り外します。

2）30mmスパナを使用して、ジャムナット、ワッシャーを取り外します。

3）プラスドライバーを使用して、リアパネルを固定しているネジ（7箇所）を取り外し、リアパネルを取り外します。

4）パネル内部の継手部からロックワッシャーを取り外します。

5）30mmスパナと26mmスパナを使用して、アドソーバーに接続されている内部フレキホースを切り離します。

6）10mmスパナを使用して、アドソーバーを固定しているボルトを外します。

7）アドソーバーを取り外します。

【新しく取り付けるアドソーバーの確認を行ってください】
※継手部分〔2箇所〕にパッキンが正しく装着されているか、継手部分にゴミなどが付着していないか確認してください。

8）アドソーバーの固定ステーがコンプレッサー内部のサポートに入るように、新しいアドソーバーを取り付けます。

9）固定ボルトを手回しで取り付けて、アドソーバーを仮固定します。

10）フレキホース継手部のシート面をクリーンルーム用ワイパーを使用して清掃します。
（コンプレッサー側・アドソーバー側両方を清掃します）

11）30mmスパナ、26mmスパナを使用して、アドソーバーと内部フレキホースを接続します。

12）リアパネルを仮に装着し、アドソーバーのヘリウム接続口がパネルの穴の位置に合っているか確認し、リアパネルを取り外します。

13）10mmスパナを使用して、アドソーバー固定ボルトを本締めします。

14）接続部付近のリークテストを実施します。

15）パネル内部の継手部にロックワッシャーを取り付けます。

16）プラスドライバーを使用して、リアパネルを取り付けます（ネジ7箇所）。

17）30mmスパナを使用して、ジャムナット・ワッシャーを取り付けます。

18）フレキホース接続部をクリーンルーム用ワイパーで清掃します。

19）フレキホース側の接続部もクリーンルーム用ワイパーで清掃します。

20）30mmスパナ、26mmスパナを使用して、フレキホースを接続します。

21）フロントパネル側のゲージを確認し、充填圧力が規定値であるか確認します。
規定値を下回っている場合、ヘリウムガス充填を行ってください。
フロントパネル交換記録記載欄に積算時間、交換日、交換者を記入します。
（積算時間はフロントパネルの左上にあります）

ぜひ、動画でご覧ください。