ULVAC TECHNO,Ltd.

無害化洗浄サービス

有害物質を使用した真空機器の取り扱いについて
有害物質を使用した真空機器の買い取りおよび無害化洗浄サービスのご提供も行っています。ただし、放射性物質については取り扱いを行っていませんので、詳しくは当社リセール本部に確認してください。

有害物質とは

有毒なガスの成分を含んだもの
高濃度の酸、アルカリ生成物
特定化学物質
重金属
劇薬物

無害化の必要な真空機器(赤字該当装置)
主な装置 ガスによる汚染 材料による汚染 副生物による汚染 基板による汚染
蒸着装置 通常なし 蒸発材料 Pb,Se等 通常なし GaAs基板等
スパッタ装置 通常なし ターゲット材料 Cd等 通常なし GaAs基板等
エッチング装置 CL系、BCL等 CL系、BCL等 フッ酸等 GaAs基板等
CVD装置 シラン系、MoH6,WF6 シラン系、MoH6,WF6 フッ酸等 GaAs基板等
イオン注入機 PH3,AsH3, B2H6 PH3,AsH3, B2H6 フッ酸等 GaAs基板等
その他 要確認 要確認 要確認 GaAs基板等
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