再生洗浄
再生洗浄とは
アルバックテクノは、お客さまの装置部品の再生洗浄および、最適な表面処理をご提供いたします
再生洗浄とは
再生洗浄とは、装置部品の表面に付着した堆積物を取り除き、新たに表面処理を再施工し、精密洗浄をおこなう一連の工程のことを指します。
目に見えない汚れや残留物を除去し、最適な表面処理をご提供することをいいます。
アルバックテクノの再生洗浄
アルバックテクノの再生洗浄および表面処理は装置部品の機能を向上させ、装置内のパーティクル低減に役立ちます。また、再生洗浄に関わる全ての工程を一貫処理ができ、スピーディーな納期対応が可能です。
お客さまが使用された成膜装置部品に付着した成膜材料を 「除去」し、「表面処理」を行い、「精密洗浄」を実施する。
「除去」： 部品から付着膜を取り除く。
「表面処理」： ブラストや溶射を行って、新品同様の表面を作る。
「精密洗浄」： 部品の清浄度を上げる洗浄を実施する。
再生洗浄と表面処理のコンセプト
1. 防着板機能向上
- パーティクル低減：表面処理、洗浄方法を工夫しパーティクル発生を抑制
- シールドライフ延長：溶射条件／仕様を最適化し、ストレスを吸収
- 放出ガス低減：材質、処理、包装を工夫し、ガス放出を抑制
- 低母材損耗：母材にやさしい除膜方法の選択
2. 「除膜／表面処理／精密洗浄」一貫処理
- スピーディーな対応：お客さま窓口の一本化、仕掛り時間の抑制
- コスト対応：管理費の抑制
低母材損耗
選択的除膜
アルバックテクノでは、洗浄による部品のダメージを出来るだけ抑えて、選択的に付着物を除去することで部品寿命の延長を図ります。
除膜例 1
除膜例 2
保有溶射設備
- Flame溶射
- Arc溶射
- Plasma溶射
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Plasma溶射
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Flame溶射
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Arc溶射
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Arc溶射
パーティクル低減
シールドライフ延長
各種溶射処理
最適な溶射膜施工により、部品材質と付着物との熱膨張差によって発生する付着膜剥離やパーティクルを低減いたします。
Al溶射膜施工表面例
溶射材料
写真上：溶射ワイヤー 写真下：セラミック溶射材料
その他材料、溶射膜仕様は調整可能です。
ULVirom（特殊溶射処理）
ULVirom処理とは、化学薬品を使わない新剥離技術と新溶射技術を併せた再生洗浄です。
母材損耗の低減が可能です。
溶射サンプルの除膜例
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Cu堆積膜
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Ti堆積膜
ドライアイスブラスト洗浄
- CVD、エッチング装置に使用されるアルマイト処理部品の洗浄に最適です。
- ドライアイスを噴射し、サーマルショック及び昇華時の膨張エネルギーによって付着物を除去します。
- アルマイトへのダメージを最小限に抑えます。
セラミック洗浄（Rehabilitate Ceramics）
セラミック洗浄では、セラミック部品に付着したフッ化物や取れにくい黄ばみを除去します。
