真空ポンプ改善提案例
豊富なバリエーションの中から最適な稼働率UPのご提案をいたします
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■ドライポンプの改善ご提案例
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●消費電力を大幅に削減
ドライポンプにECO-SHOCKを取り付けることにより、消費電力の大幅な削減が可能です。
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■ロータリーポンプの改善ご提案例
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●オイル寿命大幅アップ オイルフィルトレーションシステムの取り付けにより、オイル寿命が大幅にアップされます。
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■クライオポンプの改善ご提案例
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●再生時間を大幅短縮 急速常温再生の改造により、再生時間の大幅短縮が可能です。
●運転コスト削減 マルチ駆動型コンプレッサーに交換することで消費電力、水量が削減されます。
●チャンバー排気時間大幅短縮 トラップを取り付けることで、水の排気速度を大幅UP、排気時間の短縮を図ります。
●Ar+N2ガス排気容量UP 半導体用8インチクライオポンプを【特型パネル】にすれば、再生周期が延長します。
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