ECR プラズマ（ECR plasma）

ECR プラズマ（ECR plasma）とは、有磁場中でサイクロトロン運動する電子に高周波電界を周期的に加速して誘起された高密度のプラズマです。

磁場中の電子のマイクロ波共鳴吸収を利用すると、低ガス圧、高活性、高イオン化率のプラズマが生成されます。このプラズマを用いて、注入、CVD、エッチング、スパッタリング技術に応用されます。