有機金属気相成長法（MOCVD: metal organic CVD）

有機金属気相成長法（MOCVD: metal organic CVD）とは、有機金属化合物を常圧または減圧下で加熱した基板上に結晶成長させて薄膜を得る方法です。

この成長過程は研究段階ですが、混晶の成長が容易です。単原子層レベルの制御が可能で、大面積化も容易です。