イオン浸炭（ion carburing）／イオン窒化（ion nitriding）

イオン浸炭（ion carburing）／イオン窒化（ion nitriding）といった技術は、金属部品の表面硬化や耐摩耗性向上などに広く利用されています。

被処理物を真空雰囲気中で加熱し、浸炭（窒化）温度になると、炭化水素系ガス（窒素またはアンモニア）を導入し、同時に被処理物（陰極）と陽極の間に直流高電圧を印加してグロー放電を発生させ、生じたイオンを被処理物に衝突させて浸炭（窒化）を行う方法です。