SRH-420 裏面・実装用スパッタリング装置 - 金属成膜プロセスを支える量産用装置
本動画では、金属成膜を行うことを目的とした量産用装置の「SRH-420 裏面・実装用スパッタリング装置」をご紹介します。
パワーデバイスやWL-CSP、UBMなどの用途に使用されます。タッチモニターによる自動制御、データロギング機能を備え、効率的なプロセスを実現します。
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