NE550 高密度プラズマエッチング装置 - 研究開発向けの最適なソリューション

本動画では、研究開発向け高密度プラズマエッチング装置「NE550」をご紹介します。
化合物材料、電極加工やメタル配線、強誘電体や貴金属、ナノインプリント、バイオチップや微小液体デバイスなど、幅広い用途に使用されます。
枚葉式でLL室を標準装備し、コンパクト・低価格を実現しました。
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