アルバック・クライオ製クライオポンプ用コンプレッサーのヘリウム充填方法とは？

アルバック・クライオ製クライオポンプ用コンプレッサーユニットC30VRを例に、ヘリウム充填の方法について動画で解説しています。

１）プラスドライバーを使用してフロントパネルを取り外します。

２）減圧弁2次側バルブをゆっくりと開き、チャージングホースよりヘリウムガスを30秒程度パージさせ、ごく少量の排出状態を維持します。

３）ヘリウムガス充填バルブとチャージングホースを接続します。

＜充填作業における重要POINT＞
ヘリウムガス充填バルブとチャージングホースの両側から少量のヘリウムガスを出しながら接続すると空気の混入を防ぐことができます。

４）ヘリウムガス充填バルブを閉じます。

５）減圧弁2次側圧力を1.8MPaに調整します。

６）ヘリウムガス充填バルブをゆっくり開き、規定圧力までヘリウムガスを充填します。  　
　※今回の規定圧力は1.2MPa

７）規定圧力に到達したら、ヘリウムガス充填バルブを閉めます。ヘリウムボンベの減圧弁2次側バルブも閉めます。

８）チャージングホースを取り外します。

９）プラスドライバーを使用してネジを固定し、フロントパネルを取り付けます。

ぜひ、動画でご覧ください。