ULVAC 真空計 G-TRAN SH2+ISG1 電離測定子断線確認方法のご紹介
エラーランプが点灯した時の対処方法について説明します。
・SH2：コネクタ部のFILランプが緑色点滅（1秒間隔）/POWER LED 赤色点灯
・ISG1：圧力表示部がPrt、ERRORランプが赤色点灯
上記のような症状が発生した場合、電離真空計の測定子が断線している可能性が高いです。断線しているか以下の要領で確認ください。
①電源をOFFしてください
②ケーブル類を外して下さい
③SH2の測定子取り外し
1.5mmの六角レンチで2箇所のネジを外す。
④断線確認
ピンの無い箇所を下にして、FIL-1、FIL-2の導通を確認する。
ULVAC 真空計 G-TRAN ISG1+SW1大気圧調整方法
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