事例集「チャンバー系」

真空槽リニューアル

古い装置を使い続けたい場合のご要望にお答えします。

チャンバーリニューアルについて

補修を繰り返したチャンバーは、新規製作が必要となります。

チャンバーリニューアルのメリット

最新の設計及び製造技術で製作するために品質が向上します。

• リニューアルの際に新機能を追加できます。 例：センサ類取り付け用のポートの追加、覗き窓取り付け、内部治具取付けスキルレス化
• 同じ装置を使い続けられることにより、プロセスの変更や、条件変更は無くリニューアル後の装置の立ち上げが短期間で可能です。
• 設計時に考慮すればスペアパーツもそのままお使いいただけます。