事例集「その他」

その他の実例

【排気系】

• 油回転ポンプからドライポンプへ載せ替え
• 拡散ポンプからターボ分子ポンプやクライオポンプへ載せ替え
• 排気時間短縮のための排気系大型化
• 油回転ポンプのオイル中の水分除去のため油水分離機取り付け
• 各種トラップ取付けや配管変更工事 APCユニット取付け

「ポンプ特性表」をご参考ください。

真空ポンプ特性表

【制御系】

• コントローラ交換（PLC、コンピュータ等）
• 制御ラック内部全体をリニューアル

【電源系】

• 電源の交換（リニューアル）
• 真空管式RF電源やEB電源からソリッドステート型電源へ載せ替え
• 加熱電源を交換しON／OFF制御からPID制御へ変更

【測定系】

• 真空計の載せ替えによる精度アップ
• 温調計交換
• 成膜コントローラ交換
• プロセスモニタの追加

【搬送系】

• 搬送用モータリニューアル
• 搬送用ロボットのリニューアル
• 後継機種へ載せ替え
• 搬送コントローラリニューアル

【ガス系】

• ガス種変更、流量変更、ガス追加等

【蒸着源系】

• 蒸着源系の変更、抵抗蒸着源からEBGUNへ
• スパッタカソードの改善

【内部治具】

• 内部治具の取り付けのスキルレス化
• 内部治具の材質変更による長寿命化
• 熱処理の温度分布改善