架台内に油回転ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・制御測定ボード等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルシャー昇降装置を有する抵抗加熱式高速真空蒸着装置です。
大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験に最適です。
特長
- ガラスベルシャーにより内部が見やすく操作良好です
- キャスター付きのため移動も容易でアジャスターによる安全設置も可能です
- メインポンプを停止させることなく真空槽の開放を行くことができます
仕様
ユーティリティ
真空装置設計・製作についての
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