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真空装置設計・製作

製品一覧

真空メーカーならではの真空装置設計・製作の事例集をご紹介します。
​主に「標準装置」「レガシー装置」「フルカスタム装置」に分類されます。​

標準装置

アルバックテクノ株式会社は、株式会社アルバックと同様に、半導体製造装置及び周辺関連装置の設計・製造を手がけています。
真空技術を核とした高度なエンジニアリング力を活かし、成膜装置を中心に各種プロセス装置を自社で開発・製造。
ULVACグループの一員として、お客様希望に合わせた高品質・高信頼性の製造装置を提供しています。
アルバックテクノ社は、定評いただいている装置のカスタマイズ対応力や現場ニーズへの柔軟な設計力により研究開発用途から量産ラインまで、幅広いニーズに応える製品群を今後も増やしていく予定です。ULVACブランドの技術思想を継承しつつ、独自の製造体制と万全のフィールドエンジニアリングを活かして、現在そして次世代半導体製造を支える装置づくりに貢献いたします。

レガシー装置

アルバックテクノ株式会社では、ULVACグループの技術とノウハウを継承しながら、アルバックが過去に製造していたラインナップ装置の復刻を行っています。長年にわたり多くの研究機関・製造現場で活躍してきた装置を現代のニーズに合わせて再設計し最新の安全基準・操作性・信頼性を満たす形でよみがえらせています。復刻装置は、既存ラインの延命や研究用途での継続使用を望むお客様から高い評価を受けており「当時の使い勝手はそのままに、必要な部分だけをアップデートしたい」という声にも柔軟に対応できるのが私共の強みです。
ULVACブランドの歴史を支えてきた装置を、現代の技術で再構築することで、
装置資産の価値を最大限に活かし、安定した生産・研究環境の継続に貢献いたします。

フルカスタム装置

アルバックテクノ株式会社では、お客様それぞれのご希望やプロセス要件に合わせた装置の設計・製造を行っています。
ULVACグループで培われた真空技術・プロセス技術を基盤に、研究用途から量産ラインまで、幅広いニーズに応じた最適な装置ソリューションを提供しています。

  • 「こんな装置がほしい」
  • 「自社ラインに合わせたサイズ・仕様にしたい」
  • 「特殊な材料や条件に対応したい」
  • 「欲しい機能に絞り、安く使いやすいものがほしい」

そういったご要望に対し、経験豊富なエンジニアが丁寧にヒアリングを行い、完全オーダーメイドの装置設計にも柔軟に対応します。
ULVACブランドの技術思想を継承しながら、アルバックテクノ独自の開発力と製造体制を活かし、
お客様の課題解決に直結する装置づくりを実現しています。

種類

標準機

小型スパッタリング装置

小型スパッタリング装置

Model: QAM

最小コストで最大のパフォーマンスを実現する研究開発向けスパッタリング装置です。 処理室1のみ、搬送系追加、さらに処理室追加と拡張性を持たせており高温仕様等のオプションもご用意しております。 開発等の実験用に最適です。

小型スパッタリング装置

Model: RFS-201

RF電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。 カソード1基と用途を限定し様々な膜種に対応したコストパフォーマンスにすぐれた装置です。

小型スパッタリング装置

Model: VTR-151M/SRF

RF電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。 カソード1基と用途を限定し様々な膜種に対応したコストパフォーマンスにすぐれた装置です。

小型蒸着装置

小型蒸着装置

Model: VPC-1100

架台内に油回転ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・制御測定ボード等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルシャー昇降装置を有する抵抗加熱式高速真空蒸着装置です。 大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験に最適です。

小型蒸着装置

Model: VTR-060M/ERH

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した抵抗加熱式小型蒸着装置です。 小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

小型蒸着装置

Model: VPC-260F

パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ボード等の必要機器をコンパクトに収納したコストパフォーマンスにすぐれた抵抗加熱式小型蒸着装置です。 小さい基板サイズの基礎研究等の実験用に最適です。

小型蒸着装置

Model: VPC-061

パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

レガシー機

蒸着装置

蒸着装置

Model: EX-200・EX-400・EBXシリーズ他

復刻の一例です。 多くの販売実績がある装置を新しい安全基準に準じた再設計を行い従来の使い勝手も再現できております。

枚葉式スパッタリング装置

枚葉式スパッタリング装置

Model: ZX-1000R

多くの販売実績を誇り現在も多く現役稼働しているベストセラー装置、CERAUSシリーズ。確実な高品質への信頼と現代的な再設計アップデートが融合しました。​

フルカスタム装置

スペースチャンバー、磁気計測チャンバー、アニール炉、真空乾燥、真空排気、真空熱処理、PLD成膜、電気特性耐久性評価、ガス封止真空排気、リーク試験、その他実績多数。
こんな装置が欲しい、お気軽に下記フォームよりご相談ください。

製品
用途
真空装置設計・製作の製品一覧
業界 製品 用途 品名 概要備考
半導体 検査関係 排気系 超高真空排気装置 エミッター製造(検査)
医療 メディカル 蒸着 小型AL蒸着装置製作販売 医療関係部品のアルミ蒸着装置
半導体 半導体 搬送関係 光電子増倍管トランスファー装置 PMTトランスファー装置
通信 光学膜 排気セット 超高真空排気装置 エミッター製造(検査)
医療 メディカル 蒸着 小型AL蒸着装置 医療関係部品のアルミ蒸着処理
通信 精密部品 その他 シリコンオイル塗布装置 シリコンオイルを蒸着塗布させマスクの代用
通信 光学膜 排気セット 酸素処理用超高真空排気装置 エミッターの酸化処理に使用
半導体 MEMS 封入 ガス封入装置 ジャイロセンサーへのガス封入
半導体 精密部品 蒸着 超高真空対応 枚葉式蒸着装置 多能性中間膜の成膜用
自動車部品 精密部品 リーク検査 特性試験装置  磁気流体シール製造リーク検査装置
一般産業 精密部品 真空チャンバー リークテストチャンバー ESC製造工程用
一般産業 精密部品 真空チャンバー 鋳造装置チャンバー及び排気系製作 連続鋳造機/ワイヤー製造
半導体 半導体 スパッタ マルチチャンバー型成膜装置 枚葉式スパッタリング装置
半導体 MEMS プラズマ処理 プラズマ処理装置 Plasma処理でプラスティック容器内面を親水化
半導体 MEMS 真空チャンバー EX200復刻装置 研究開発用途
エネルギー 電池 その他 イオンプレーティング装置 PEFC(固体高分子形燃料電池)研究開発
半導体 MEMS その他 Be 窓付エミッタ検証装置 冷陰極X線管の試験
半導体 MEMS 真空乾燥 真空乾燥装置 レジスト塗布した基板を真空乾燥
エネルギー 電池 スパッタ スパッタ装置 再生可能エネルギーの変換・貯蔵に関する研究
通信 光学膜 排気セット 真空排気セット 研究開発用途
一般産業 精密部品 排気セット 金型射出成型装置排気セット 金型射出成型
自動車部品 精密部品 真空チャンバー リーク検査装置 自動車部品向け自動リーク検査装置
自動車部品 パワーデバイス リーク検査 リークテストチャンバー パワーデバイス製造工程
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 鋳造装置用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 後工程製造装置用途
エネルギー バイオ 封入 軽ガスリークイン試験装置 再生エネルギー設備用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット ターボ分子ポンプ追加
自動車部品 精密部品 排気系 真空排気装置 自動車部品向け自動リーク検査装置
ディスプレイ ディスプレイ 蒸着 小型蒸着装置 マスク蒸着装置
半導体 精密部品 真空チャンバー 脱泡チャンバー 脱泡
自動車部品 精密部品 真空チャンバー バラトロン調整用真空装置 宇宙航空工学研究用途
半導体 精密部品 排気セット 真空排気セット EUV光源用途
一般産業 精密部品 真空チャンバー 真空チャンバー 金属加工工程
一般産業 光学膜 排気セット 真空排気セット レンズ製造工程
宇宙航空 精密部品 封入 ガス封入装置 宇宙航空工学研究用途
ディスプレイ ディスプレイ 測定器 シート抵抗値測定装置 ガラス研究開発用途
半導体 磁気デバイス 排気セット 真空排気セット 研究開発用途
半導体 LED 真空チャンバー 真空チャンバー LED製造工程
半導体 OEL 排気セット 真空排気セット 昇華精製工程
半導体 OEL 蒸着 有機成膜装置 有機成膜
エネルギー 電池 排気セット 真空排気セット 超高真空装置用
半導体 半導体 排気セット CRYOポンプ真空排気セット CRYO排気セット
自動車部品 精密部品 排気セット 真空排気セット 真空排気セット
半導体 半導体 真空加熱 拡散炉加熱室 横型拡散炉用途
宇宙航空 精密部品 排気セット 真空排気セット 宇宙航空工学研究用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 鏡板製造工程
一般産業 精密部品 排気セット 成形機排気セット 成形製造工程
半導体 精密部品 真空チャンバー シリコンオイル脱気槽 半導体装置製造関連設備
一般産業 精密部品 真空チャンバー 試験用真空チャンバー 研究開発用途
半導体 MEMS 排気セット 真空排気セット MEMS製造工程
自動車部品 精密部品 リーク検査 Heリークテスト装置 自動車部品向け自動リーク検査装置
半導体 半導体 真空チャンバー Wafer保管真空チャンバー 半導体デバイス用途
半導体 MEMS 真空チャンバー スパッタチャンバー増設 研究開発用途
宇宙航空 精密部品 排気セット 小型高真空排気セット 宇宙航空工学研究用途
一般産業 精密部品 真空炉 真空溶解炉 炉体製作
半導体 精密部品 排気セット ガス分析装置排気セット 半導体装置製造関連設備
半導体 半導体 搬送関係 特殊基板搬送用移載機 半導体デバイス用途
一般産業 精密部品 真空チャンバー 卓上型真空チャンバー 小型真空チャンバー
エネルギー 磁気デバイス 真空乾燥 ドライボックス 金属加工工程
自動車部品 精密部品 排気セット 超高真空排気セット 超高真空装置用
一般産業 磁気デバイス その他 巻取蒸着装置冷温媒循環ユニット フィルム製造工程
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 小型排気セット
一般産業 精密部品 排気セット 金型排気セット 金型製造工程
半導体 磁気デバイス 搬送関係 装置ロードロックチャンバー 半導体製造装置関連
エネルギー 精密部品 その他 冷却装置 ベアリング開発用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット メカニカルブースターポンプ排気セット
一般産業 精密部品 その他 脱気槽 脱気
一般産業 電池 排気セット 管球排気装置 管球内排気システム
エネルギー 精密部品 その他 高速モーター真空試験機 ベアリング開発用途
一般産業 LED 排気セット 真空排気セット LED製造工程
一般産業 精密部品 その他 in-situ TEMガス導入装置
医療 メディカル 凍結乾燥 凍結真空乾燥トラップ 医療設備用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 時計デバイス用
半導体 MEMS 真空チャンバー 真空チャンバー 半導体デバイス用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 金属加工工程
一般産業 精密部品 その他 SIDセンサ素子BG上昇試験装置
宇宙航空 精密部品 リーク検査 リークテスト排気装置 宇宙航空工学研究用途
半導体 パワーデバイス 真空チャンバー スパッタチャンバー増設 研究開発用途
一般産業 精密部品 真空加熱 焼結炉チャンバー 焼結炉室作成
一般産業 ディスプレイ 排気セット 真空排気セット ガラス製造用途
一般産業 精密部品 鋳造 鋳造装置チャンバー 鋳造装置用途
自動車部品 パワーデバイス 真空チャンバー ガス分析チャバー パワーデバイス製造工程
エネルギー 電池 排気セット 真空排気セット エネルギー産業用途
エネルギー バイオ 排気セット 真空排気セット エネルギー産業用途
半導体 パワーデバイス 搬送関係 雰囲気制御真空搬送設備 半導体デバイス用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット エネルギー産業用途
半導体 MEMS その他 in‐situ結晶成長制御装置 研究開発用途
一般産業 精密部品 リーク検査 真空式汎用リークテスト装置 リーク検査装置
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 照明機器製造工程
半導体 精密部品 排気セット 焼結炉用真空排気装置 研究開発用途
半導体 半導体 リーク検査 リークテスト用補助真空排気ユニット 半導体装置製造関連設備
宇宙航空 精密部品 真空炉 アウトガスユニットチャンバー 宇宙航空工学研究用途
宇宙航空 MEMS 排気セット 小型高真空排気セット 宇宙航空工学研究用途
医療 メディカル その他 バイアル瓶供給装置製作 医療設備用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 高純度金属精製用途
一般産業 光学膜 排気セット 真空排気セット 貴金属製造工程
宇宙航空 精密部品 真空チャンバー 真空チャンバー 宇宙航空工学研究用途
一般産業 精密部品 真空炉 小型真空溶解炉 20Kg-クラスの真空溶解炉
食品 バイオ 真空チャンバー 真空チャンバー 食品設備用途
通信 MEMS 真空加熱 インラインアニール炉 アニール装置
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 特殊電源製造工程
一般産業 光学膜 真空チャンバー 光学レンズ製造用真空チャンバー レンズ製造工程
ディスプレイ ディスプレイ 真空チャンバー 試験用真空チャンバー ガラス研究開発用途
通信 MEMS 真空チャンバー 真空チャンバー 通信デバイス製造工程
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット ランプ製造工程
半導体 半導体 真空チャンバー アライメントチャンバー 半導体露光装置関連設備
一般産業 精密部品 真空チャンバー 真空炉体製作 製鉄関係設備
ディスプレイ ディスプレイ 排気セット 真空排気セット ディスプレイ製造工程
自動車部品 精密部品 リーク検査 真空特性検査装置 真空特性検査
一般産業 バイオ 排気セット 真空排気セット 研磨剤製造工程
半導体 半導体 スパッタ スパッタ装置 スパッタリング装置
一般産業 精密部品 リーク検査 磁性流体シール試験機製 磁性流体シール製造工程
エネルギー 電池 排気セット 真空排気セット 原子力設備用途
医療 メディカル 排気セット 真空排気セット 医療品製造工程
半導体 半導体 真空チャンバー 基板圧着チャンバー 研究開発用途
ディスプレイ ディスプレイ その他 粉塵暴露対策ユニット インジュウム粉塵暴露対策
エネルギー 電池 排気セット 真空排気セット 太陽電池製造工程
通信 光学膜 排気セット 光計測用真空排気ユニット 光学機器製造工程
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気・充気装置 冷凍冷蔵設備用途
エネルギー 精密部品 排気セット 高真空排気セット 原子力設備用途
一般産業 MEMS 排気セット 自動ヘリウム加圧排気装置 MEMS製造工程
一般産業 精密部品 リーク検査 真空検査用チャンバー ESC製造工程用
通信 精密部品 排気セット 真空排気セット 通信デバイス製造工程
宇宙航空 精密部品 真空チャンバー スペースチャンバー 宇宙航空工学研究用途
食品 バイオ 排気セット 真空排気セット 食品設備用途
ディスプレイ ディスプレイ その他 基板コーティング脱泡装置 ディスプレイ製造工程
通信 光学膜 排気セット 真空排気セット 実験開発設備用途
医療 メディカル 真空加熱 真空加熱乾燥炉 医療設備用途
一般産業 精密部品 真空チャンバー 信頼性評価チャンバー ESC製造工程用
半導体 MEMS スパッタ スパッタ装置 バッチ式スパッタリング装置
一般産業 精密部品 真空炉 小型真空溶解炉 100Kg-クラスの真空溶解炉
自動車部品 精密部品 その他 半自動切替ガス供給装置 自動車部品向け自動リーク検査装置
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 半導体装置製造関連設備
医療 メディカル 凍結乾燥 凍結乾燥炉 医療品製造工程
一般産業 精密部品 蒸着 特型蒸着装置 時計デバイス用
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 石英製造工程
半導体 精密部品 真空乾燥 乾燥炉 真空乾燥炉
一般産業 光学膜 真空チャンバー 真空チャンバー 時計デバイス用
一般産業 精密部品 真空チャンバー 張り合わせチャンバー ESC製造工程用
一般産業 精密部品 真空チャンバー ヒーター検査チャンバー ESC製造工程用
一般産業 バイオ 排気セット 溶接用排気システム YAG溶接工程
一般産業 精密部品 排気セット 油拡散ポンプ排気ユニット ディフュージョンポンプ排気セット
半導体 MEMS 真空加熱 アニール炉 半導体工程アニール装置
エネルギー 電池 排気セット 真空排気セット 荷電変換膜製作用
食品 バイオ 排気セット 真空排気セット 真空加熱装置用
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 蒸留装置用
一般産業 精密部品 真空炉 小型真空溶解炉 25Kg-クラスの真空溶解炉
医療 メディカル 真空チャンバー 真空チャンバー 医療設備用途
通信 磁気デバイス 排気セット 真空排気セット 量子デバイス製造工程
ディスプレイ 電池 排気セット 真空排気セット 真空誘導加熱炉用
ディスプレイ 電池 真空チャンバー CRYOチャンバー ディスプレイ製造工程
半導体 半導体 その他 冷却水循環装置 設備機能更新
エネルギー 電池 真空チャンバー 真空拡散接合炉チャンバー 真空拡散接合システム用途
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 自動車部品向け自動リーク検査装置
自動車部品 精密部品 真空チャンバー 真空チャンバー 自動車部品向け自動リーク検査装置
ディスプレイ ディスプレイ 排気セット 大型基板装置用排気セット ディスプレイ製造工程
半導体 MEMS スパッタ 小型スパッタ装置 4位カソード式スパッタリング装置
宇宙航空 磁気デバイス 排気セット 中空ファイバーHe置換用排気装置 中空ファイバー製造工程
医療 メディカル その他 フィルムマーキング装置 医療設備用途
自動車部品 精密部品 その他 真空含浸硬化炉 真空脱泡脱気含浸硬化炉
一般産業 精密部品 リーク検査 特殊半導体装置部品製造真空チャンバー ESC製造工程用
一般産業 精密部品 リーク検査 自動リーク検査装置 ESC製造工程用
エネルギー バイオ 真空乾燥 真空脱気装置 精油製造工程
エネルギー バイオ 排気セット 真空排気セット ガス製造工程
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット ガラス製造工程
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 無機化学材料製造工程
宇宙航空 精密部品 測定器 真空発塵測定ユニット 真空環境発塵測定
通信 精密部品 真空炉 真空熱処理炉 カスタム設計による真空炉
ディスプレイ 光学膜 その他 He冷却ガスユニット ガス圧力調整装置
ディスプレイ ディスプレイ 排気セット 真空排気装置 液晶製造工程
一般産業 精密部品 真空加熱 熱処理炉 時計デバイス用
通信 MEMS 排気セット 電気炉用排気システム 設備機能更新
一般産業 ディスプレイ 真空乾燥 真空乾燥装置 レジスト製造工程
エネルギー 精密部品 排気セット 特型排気システム カスタム排気システム
半導体 バイオ その他 イオンビーム照射装置 イオンビーム照射装置
一般産業 精密部品 測定器 静電気容量自動測定器 ESC製造工程用
エネルギー 半導体 スパッタ 超高真空スパッタ装置 高真空スパッタリング装置
一般産業 光学膜 真空炉 真空蒸留装置 流下膜式真空蒸留装置
半導体 半導体 リーク検査 自動ボンピング装置 Heボンピング自動検査装置
通信 MEMS 排気セット 真空排気セット 小型RP排気システム
一般産業 電池 真空チャンバー 真空チャンバー 真空計比較用途
一般産業 精密部品 その他 イオンビームミキシング装置 表面改質装置
食品 バイオ 真空乾燥 真空冷却装置 食品用真空冷却装置
エネルギー 精密部品 その他 ビーム輸送ライン真空安定設備 真空系安定化のため機器設置作
一般産業 精密部品 真空加熱 真空溶解炉用鉄心 真空溶解炉用鉄心製作
一般産業 精密部品 排気セット 真空排気セット 排気機構追加
一般産業 電池 排気セット 真空排気セット ターボ分子ポンプ追加
エネルギー 電池 その他 真空コントロールパネル 設備機能更新
半導体 精密部品 測定器 自動流量測定装置 工程自動化
半導体 精密部品 真空チャンバー 真空チャンバー 貼り合わせ工程
エネルギー 電池 排気セット 真空排気セット 原子炉用途
医療 メディカル 排気セット 真空排気セット 排気機構追加
半導体 MEMS 排気セット 真空排気セット 小型排気セット
半導体 半導体 その他 溶接自動機構 設備自動化
半導体 半導体 インプラ 自動基板搬送機構 半導体製造装置自動化
一般産業 精密部品 真空炉 小型真空溶解炉 50Kg-クラスの真空溶解炉
一般産業 精密部品 真空炉 小型真空溶解炉 30Kg-クラスの真空溶解炉
半導体 精密部品 真空加熱 ガラス基板向け真空ベーク炉 ガラス基板向けの真空ベーク炉

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