パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ボード等の必要機器をコンパクトに収納したコストパフォーマンスにすぐれた抵抗加熱式小型蒸着装置です。
小さい基板サイズの基礎研究等の実験用に最適です。
特長
- 卓上型でコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
仕様
ユーティリティ
真空装置設計・製作についての
このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy当該ページを別ウィンドウで開きます」をご確認ください。