架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した抵抗加熱式小型蒸着装置です。
小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- 卓上型でコンパクト、省スペースでの設置が可能です
- ガラスベルジャーによる内部が見やすく操作性良好です
- メインポンプを停止させることなく真空槽の開放をおこなうことができます
- クリーンな排気で基礎研究等の実験用に最適です
仕様
ユーティリティ
真空装置設計・製作についての
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