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真空材料

【成膜材料】ハースデッキカバー

概要

ハースデッキに付着した金属膜の剥離作業を低減する防着カバーです。

仕様・特性・用途ほか

■特長

1.ハースデッキを傷つけることなくスマートに膜剥離

2.ハースデッキへの不純物の食い込み防止

3.ハースデッキの長寿命化

■型式

●EGL-35M用ハースデッキカバー

●EGL-206M用ハースデッキカバー

●EGL-406M用ハースデッキカバー

●EGL-80M用ハースデッキカバー

※初回取付時は、ハースデッキ本体(新品)と穴あけ加工費が必要です。

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