ULVAC TECHNO,Ltd.

 

 

真空材料

【成膜材料】電子ビーム蒸着用ハースライナー

概要

ハースライナーは、電子ビーム蒸着のコンタミネーション防止、クリーニングの軽減に役立ちます。

仕様・特性・用途ほか

■参考例

原子番号 材料 材 質
12 Mg Al2O3、C、Mo
13 Al アルミナコンポジット
14 Si C、ZrO2
22 Ti C
23 V Mo
24 Cr C
25 Mn C、Mo
26 Fe Al2O3、MgO、ZrO2
27 Co Al2O3、MgO
28 Ni Al2O3、MgO
29 Cu Al2O3、BN、C、Mo
30 Zn Al2O3、C、Mo
31 Ga Al2O3
32 Ge Al2O3、C
34 Se Al2O3、C
39 Y Al2O3、Ta
45 Rh C、ZrO2
46 Pd Al2O3
47 Ag Al2O3、C、Mo
49 In Al2O3、C、Mo、Ta
50 Sn Al2O3、C、Ta
78 Pt C、ZrO2
79 Au Al2O3、BN、C、Mo、W
82 Pb Al2O3、Fe、W
83 Bi Al2O3、C、Mo、Ta

■ハース容量

蒸着源種類 容 量(cm3
EGK-3 2.6
EGK-3M 2.9
EGL-35 40
EGL-35M 40または10
EGL-206M 20
EGL-406M 40
EGL-110 110
EGL-80M 110
EGL-103S 10

 

※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。

※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。

※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。

※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。

真空材料おすすめコンテンツ

 

アルバックテクノ株式会社 ULVAC TECHNO,Ltd.