コンポーネントメンテナンス
コンポーネントメンテナンス 真空ポンプメンテナンス

メンテナンスリスト

油回転真空ポンプ

ロータリーポンプ（小型）メンテナンスリスト

Gシリーズ

型式 質量(kg)
G-5DA 5
G-10DA 5.5
G-20DA 9
G-25SA 9
G-50DA 11
G-50SA 11
G-100D 23
G-100DC 23
G-100S 22
G-101D 23
G-101S 22

GHDシリーズ

型式 質量(kg)
GHD-030 9.3
GHD-031
GHD-100 22
GHD-101

GLS・GLDシリーズ

型式 質量(kg)
GLS-051 12.9
GLD-051 13.9
GLD-040 16
GLD-135 25.2
GLD-136 25.2
GLD-136B 25.2
GLD-136D 25.2
GLD-137 25.2
GLD-137AA 26
GLD-137CC 29
GLD-201A 29
GLD-201B 29
GLD-202AA 29
GLD-202BB 31
GLD-280 34.5
GLD-280A 34.5

GCDシリーズ

型式 質量(kg)
GCD-051X 14.1
GCD-136X 25.4
GCD-201X 26.6

ロータリーポンプ（中・大型）メンテナンスリスト

PVDシリーズ

型式 質量(kg)
PVD180 33.5
（モータ無）
PVD180B
PVD0180H
PVD360 43
（モータ無）
PVD360B
PVD360H

VDシリーズ

型式 質量(kg)
VD30C 58
VD30C-A（N）
VD30C-B
VD30C-H
VD30C-F
VD40C 60
VD40C-A（N）
VD40C-B
VD40C-H
VD40C-F
VD60C 90
VD60C-H
VD60C-F
VD90C 113
VD90C-H
VD90C-F
VD301 58
VD301-A
VD301-B
VD301-H
VD401 60
VD401-A
VD401-B
VD401-H
VD601 90
VD601H
VD901 113
VD901H
VD151 29
VD201 34.5

VSシリーズ

型式 質量(kg)
VS1501 240
VS1501-R
VS2401 280
VS2401-R
型式 質量(kg)
VS300A-W 270
型式 質量(kg)
VS650/750AｰA 806/802
VS650/750A-W 800/796
VS650/750BｰA 806/802
VS650/750B-W 800/796
VS650B-WL 820

PKSシリーズ

型式 質量(kg)
PKS-016 225
（モータ無）
PKS-016H
PKS-030 380
（モータ無）
PKS-030R
PKS-030H
PKS-070（B） 900
（モータ無）
PKS-070（B）R
PKS-070（B）H

メカニカルブースターポンプ

メカニカルブースターポンプメンテナンスリスト

MBSシリーズ

型式 質量(kg)
MBS-051 11
MBS-052
MBS-053

PMB-Dシリーズ

型式 質量(kg)
PMB100D 26
PMB100D-T
PMB300D 51
PMB300D-T
PMB600D 82
PMB600D-T
PMB1200D 115
PMB-1200D-T
OMB2400D 260
PMB2400D-T

PMB-Cシリーズ

型式 質量(kg)
PMB-040C 970
PMB-060C 1100

PRCシリーズ

型式 質量(kg)
PRC-003A 51
PRC-003A-F
PRC-003A-X
PRC-006A 86
PRC-006A-F
PRC-006A-X
PRC-012A 118
PRC-012A-F
PRC-012A-X
PRC-018A 150
PRC-018A-F
PRC-018A-X
PRC-036D 255
PR-036D-T

ドライポンプ

ドライポンプ（小型）メンテナンスリスト

DAPシリーズ

型式 質量(kg)
DAP-15 3.6
DAP-30 5

DAシリーズ

型式 質量(kg)
DA-15D 3.9
DA-20D 7.2
DA-20DA/DB/DC
DA-40S 7.2
DA-40SA/SB/SC
DA-30D 11
DA-60S 11
DA-41D 10.3
DA-41DK
DA-81S 10.3
DA-81SK
DA-60D/DC 19
DA-120S 19
DA-121D 26
DA-121DC/DD/DE/DF
DA-241S 26
DA-241SC/SD/SE/SF

DATシリーズ

型式 質量(kg)
DAT-50D 11
DAT-50DA
DAT-100S 11
DAT-100SA

GHDシリーズ

型式 質量(kg)
DAL-181D 37
DAL-361S 37

DAU・MDシリーズ

型式 質量(kg)
DAU-20 7.5
DAU-20A/B/C/D/E
DAU-100 24
MD4
MD4UNT 16.4
MD8

DTU・MDｰCシリーズ

型式 質量(kg)
DTU-20 7.5
DTU-20A/B/C/D/E
MD4C 14.3
MD4UCNT 14.3
MD8C 25

DTCシリーズ

型式 質量(kg)
DTC-22（K） 7.3
DTC-22A/B/C 7.3
DTC-41（K） 25.4
DTC-60 18
DTC-120 27.5
DTC-120A 27.5
DTC-120D/E/F/G 27.5

DOPシリーズ

型式 質量(kg)
DOP-40D 7
DOP-80S 7
DOP-80SP 9
DOP-100ST 20
DOP-180S 12
DOP-180SA/SB/SC/SD/SE 12
DOP-300SA 20
DOP-301 20
DOP-301SA/SB 20
DOP-400SB 23
DOP-420S 33

DSBシリーズ

型式 質量(kg)
DSB-151 22
DSB-251 26
DSB-451 31
DSB-601 38

DISシリーズ

型式 質量(kg)
DIS-90 14
DIS-250 25
DIS-251 25
DIS-252 25
DIS-500 44
DIS-501 44

ドライポンプ（中・大型）メンテナンスリスト

CRシリーズ

型式 質量(kg)
CR16A 35
CR30A
CR60A 48
CR300A 100
CR16B 35
CR30B
CR60B-S 48
CR60B-T
CR300B-T 100

GRシリーズ

型式 質量(kg)
GR60A 128
GR90A 188
GR180A 268

L/H/URシリーズ（中型）

型式 質量(kg)
L/HR60 180
L/H/UR90 245
L/H/UR180 335
L/HR300 251
L/H/UR600 371
L/H/UR1200 403
L/H/UR1800 553

L/H/URシリーズ（大型）

型式 質量(kg)
L/UR420 415
LR421
L/UR421-T
L/UR3600 750
LR3601 660
LR3601-T 720
LR3601-TT
LR3601-R 660
LR3601-TR 720
L/UR3601-TTR

LSシリーズ

型式 質量(kg)
LS120A-C 142
LS120A-L
LS300A-C/L 220
LS600A-C/L 242
LS1200A-C/L 266

MSシリーズ

型式 質量(kg)
MS120AｰN 139
MS600AｰN 241
MS1200A-N 264

クライオポンプ

クライオポンプのメンテナンス対象につきましては、アルバック・クライオホームページを参照下さい

アルバッククライオ アルバッククライオ：販売終了

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプ メンテナンスリスト

UTM-FW/FHシリーズ（電源別置型）

型式 質量(kg)
UTM-350FW/FH 17
UTM-480FW/FH
UTM-800FW/FH 28
UTM-1001FW/FH
UTM-1400FW 36
UTM-2300FW 60
UTM-3301FW 90
UTM-3302FH 90
UTM-3303FH 86
UTM-6300FH 205

UTM-Bシリーズ（電源一体型）

型式 質量(kg)
UTM70B 3～5
UTM300B 6～9.3

UTM-MIシリーズ（電源一体型）

型式 質量(kg)
UTM1200A 43
UTM1600A 41
UTM2300A 56
UTN3400A 94

UTM-MSシリーズ（電源別置型）

型式 質量(kg)
UTM300A-MS 14
UTM400A-MS
UTM800A-MS 33
UTM1000A-MS 32
UTM1300A-MS 39
UTM1500A-MS 42
UTM2400A-MS 70
UTM3400A-MS 84
UTM4300A-MS 105

ターボ分子ポンプ・排気セット メンテナンスリスト

DesKtop YTP　（排気セット）

型式 質量(kg)
YTP70A
（DAU-20DC＋UTM70B）		 17.5

YTP-Bシリーズ（M：マニュアル型）

型式 質量(kg)
YTP-50MB 55
YTP-50MBーDRY 57
YTP-300MB 86
YTP-300MBｰDRY 85

YTP-Bシリーズ　（SA：セミオート型）

型式 質量(kg)
YTP-50SAB 55
YTP-50SAB-DRY 57
YTP-300SAB 86
YTP-300SAB-DRY 85

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拡散ポンプ・スパッタイオンポンプ・チタンゲッタポンプ等、未掲載機種についてはお問合せ窓口にてご相談ください。

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