サービス
計測機器メンテナンス
真空計や校正リークの校正、成膜コントローラーの点検等、豊富な実績と経験による高い品質での整備をご提供いたします
おもな取扱い機種とメンテナンス
画像をクリックいただくと、各機種のメンテナンス内容をご覧になれます。
リークディテクタ
リークディテクタのメンテナンスメニューのご紹介です。
ガス分析計（プロセスガスモニタ）
ガス分析計（プロセスガスモニタ）のメンテナンスメニューのご紹介です。
DC電源
DC電源のメンテナンス内容のご紹介です。
①消耗部品の交換（保守期間中の製品限定）
- 平均寿命のある部品の交換
（ファン、コンタクタ、ブレーカ、ヒューズ等） - POWER半導体、スイッチング電源、ダイオード、コンデンサ交換
②故障個所の修理
- 寿命により故障した部分の部品交換、点検
③点検
- 動作確認等
RF電源
RF電源のメンテナンス内容のご紹介です。
①消耗部品の交換（保守期間中の製品限定）
- 平均寿命のある部品の交換
（ファン、コンタクタ、ブレーカ等） - POWER素子、スイッチング電源、ダイオード、FET、コンデンサ交換
②故障個所の修理
- 寿命により故障した部分の部品交換、点検
③点検
- 動作確認等
EB電源
EB電源のメンテナンス内容のご紹介です。
①消耗部品の交換（保守期間中の製品限定）
- 平均寿命のある部品の交換
（ファン、コンタクタ、ブレーカ等） - POWER素子、スイッチング電源、ダイオード、FET、コンデンサ交換
②故障個所の修理
- 寿命により故障した部分の部品交換、点検
③点検
- 動作確認等
成膜コントローラ
成膜コントローラのメンテナンス内容のご紹介です。
①消耗部品の交換（保守期間中の製品限定）
- 取扱説明書に記載ある部品
（液晶ディスプレイ、ファン、CF、基盤等）
②点検
- 動作確認等
真空搬送ロボット
真空搬送ロボットのメンテナンス内容のご紹介です。
アルバックテクノの計測機器メンテナンス
安心のメンテナンス体制
- 全国に拡がるカスタマーサービス拠点ネットワーク
- 専任技術者による品質の高いメンテナンス
- 当社顧客管理システムにて、メンテナンス履歴管理を行っています
メンテナンス形態
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引取り、出張オーバーホール
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一部対象外機種もございます
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- エクスチェンジ方式オーバーホール
- 無害化洗浄オーバーホール
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出張、一括真空計校正
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他社製の真空計・校正リークの校正実績もございますので、お問い合わせください
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充実したバックアップパーツと代替機
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現行機種はもちろん、生産中止機種のバックアップパーツ及び、修理校正期間中の代替機を取り揃えています
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対応機種が無い場合もございますので、事前にご確認ください
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- 中古計測機器も取り揃えています
- 当社顧客管理システムにて、メンテナンス履歴管理を行っています