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サービス

真空ポンプメンテナンス

ダイヤフラムポンプやスクロールポンプ、アルバック製以外のポンプなど幅広く真空ポンプのメンテナンスにお応えしています

アルバックテクノの真空ポンプメンテナンス

真空ポンプのメンテナンス及びご相談は最寄のカスタマーサービス拠点へお申し付けください。豊富な実績と経験により、安心と信頼の品質とトータルコストダウンのご協力をいたします。

アルバックテクノでは、低・中真空から超高真空まで幅広いタイプの真空ポンプのメンテナンスを行っています。また、アルバックテクノならではの取り組みが多くのお客さまから高い評価をいただいています。

安定稼動を約束するオーバーホール部品を採用

  • 厳しい検査基準に合格した交換部品を使用
  • 環境配慮型の部品を積極的に採用

安心のオーバーホール体制を整備

  • 全国に拡がるカスタマーサポートセンターネットワーク
  • 熟練した技術者による品質の高いオーバーホール

保守契約による安定稼動

アルバック社製だけでなく、他社製ポンプも含めた一括メンテナンス契約も承ります。

オーバーホール形態

  • 引取りはもちろん、現地作業も承ります
    • 一部対象外機種もございます

  • エクスチェンジ方式もご相談に応じます
  • 無害化洗浄を含む作業も承ります
  • 真空バルブ、配管も含めた排気系のご依頼も承ります
  • 他社製ポンプの作業も承ります
  • 中古ポンプも豊富に取り揃えております
クライオポンプのオーバーホール前の写真とオーバーホール後の写真が並んでいます。オーバーホール作業では、ポンプ内部の錆などを落とし、正常に動作するよう復元されます。

高度な解析能力と迅速な問題解決

  • メーカーの最新技術と豊富なフィールドデータの蓄積
  • 最新技術のフィードバックと敏速な横展開

ドライポンプ専門オーバーホール工場を整備(滋賀/茅ヶ崎/広島/鹿児島)

ドライポンプ専門オーバーホール工場を、滋賀・茅ヶ崎・広島・鹿児島に有しております。

アルバック製品情報

アルバック製品情報は、ULVAC SHOWCASEをご覧ください。

真空ポンプメンテナンスリスト

画像をクリックいただくと、各機種のサポート対応機種リストをご覧になれます。

真空ポンプオイル

世界で唯一の真空総合メーカー「アルバック」が自信を持ってお勧めする真空ポンプ用純正オイルです。

アルバック純正オイル、アルボイルの四角い缶の写真です。

油回転ポンプオイルを選定する三大要素

  1. 到達圧力を決める低蒸気圧特性
  2. 隙間を埋めるシール特性
  3. 機械部品の動きを助ける潤滑特性

油回転ポンプ油交換時期の目安

油回転ポンプ油交換時期の目安は以下の通りです。

用途 期間
研究、実験用真空装置、小型真空装置など 6カ月~1年以内
生産用真空装置、大型蒸着装置など 3カ月~6カ月以内
管球排気装置、大型蒸着装置など 3カ月以内
熱処理、溶解など金属冶金真空装置 1カ月以内
高真空乾燥、真空含浸、真空成形、真空包装など 1カ月以内
低真空乾燥、土練機、食品包装機など 1週間以内
  • ポンプ油は汚れの程度、油の性状の劣化に応じて交換頻度を変える必要がございます
  • 使用油はポンプメーカーより指定された油をご使用ください
  • オイルはオイルレベルの中央まで補給してください
  • 水分、へドロなどが油タンク底部にたまる場合は、起動前にドレンより抜いてください
アルバック純正オイル、アルボイルの丸い缶の写真です。

真空ポンプのトラブルチェック

ポンプにみられる現象にあわせた処置方法です。
具体的なチェック項目と、それらに対応した処置法をご紹介しています。

真空ポンプ特性表

油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、油回転ポンプ、
ドライポンプの特性一覧を紹介しています。

主ポンプ

項目 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ クライオポンプ 備考
初期投資金額 安い 高い 高い
消費電力 やや多い 少ない 多い
冷却水 必須 空冷と水冷が有る 必須
液体窒素 必要 不要 不要
メンテナンスコスト 安い 高い やや高い
始動、停止時間 長い 短い 最も長い
振動 ない 微振動あり やや有る
異物混入時の耐久性 強い 弱い やや強い ガラス金属片を想定
真空の質 汚い きれい きれい 油拡散ポンプは油の逆流が有る
自動操作の容易さ 複雑 簡単 やや簡単
開口径に対する排気速度
大容量化 容易 困難 容易
少容量化 やや容易 やや容易 困難
メリット 開口径に対しての排気速度が大きい。 起動時間が短く、操作が簡単。ランニングコストが安い。 開口径に対する排気速度が大きい。
メンテナンスが用意で初期投資及びランニングコストが安い。 排気速度が安定している。 立ち上がった後、補助排気が不要。
真空の質がきれい。 真空の質はきれい。
デメリット 油の逆流が有り油汚染が有る。 到達圧力を確保したい場合コールドトラップが必要。 定期的なメンテナンスが必要。
水冷トラップが必須、一般的には液体窒素等のコールドトラップが必要。 開口径に対する排気速度が小さい。 Heコンプレッサーが必要。
クラッシュした場合ポンプはほぼ全損。 立ち上げ時間が長く、再生操作が必要。

主ポンプ

項目 油回転ポンプ ドライポンプ 備考
初期投資金額 安い 高い
消費電力 やや多い 多い ドライポンプは省エネタイプが市場に出ている。
冷却水 必要なポンプも有る 必要なポンプも有る
パージガス 不要 一般的には必要
メンテナンスコスト 安い やや高い
振動 ポンプによる 微振動あり
真空の質 やや汚い きれい
到達圧力 良い 良い
大容量化 容易 やや困難
少容量化 容易 容易 ドライポンプはダイヤフラムポンプで有れば小型のポンプが存在する。

セレクションガイド

真空ポンプメンテナンスの依頼方法はこちら

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