低放出ガスの表面処理
ALpika®（アルピカ）
［ALpika］概要
複雑形状部品でも均一な施工が可能な表面処理です。
※ALpika®は株式会社アルバックの登録商標です。
特長
・ガス放出量が少ない
・複雑形状処理が容易にできます
・再現性が良い（同じ処理ができます）
・ダスト発生が極めて少ない
・大気中の経年変化が極めて少ない
・外観上の光沢面が均一です
・処理費用が安価
実用例
部品：防着板、ウェーハカセット、チャンバー、搬送系 他
真空関連に限らずアルミ表面の光沢を得る処理としても応用可能です。
単位面積あたりのガス放出速度
適用合金
アルミニウム合金
処理可能材質：A1000、A5000、A6000番台
処理槽寸法：1.5m□
表面処理一覧
WET成膜
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VACAL®（バッカル）
クラックの発生を極めて少なくするアルミニウム、およびその合金上へのアルマイト皮膜処理
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TUFRAM®（タフラム）
硬質アルマイトとフッ素樹脂の複合被膜 低摩擦と耐摩耗性向上のアルミ専用の表面処理
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NEDOX®（ニダックス）
無電解ニッケルとフッ素樹脂の複合被膜 高硬度と耐摩耗性向上の各種素材への表面処理
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NIFGRIP®（ニフグリップ）
無電解ニッケルとフッ素樹脂の共析被膜 非粘着や離型性効果の各種素材への表面処理
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ULCERAM®-C39（アルセラム-C39）
フッ素を使用しないセラミック系のコーティング（塗装）被膜 耐熱性と非粘着性を兼ね備えた表面処理
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大型硬質アルマイト
日本最大級を誇る大型液晶製造装置対応のアルマイト処理
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アルマイト処理
アルマイト（陽極酸化処理法）の基礎から、当社独自の応用技術をご紹介しています
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ALpika®（アルピカ）
低放出ガスの表面処理
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SUSpika®（サスピカ）
容易で良質な処理を応用
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SuperALpika®（スーパーアルピカ）
アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理
DRY成膜-光学膜
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光学膜-あらまし
アルバックテクノの光学膜について
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光学膜-撥水膜
撥水性、潤滑性に優れる撥水性コーティング
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光学膜-反射防止膜
表面反射を低減、透過率をより向上させるコーティング
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光学膜-カラーハーフミラー
反射特性と透過特性を合わせ持つ光学膜
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光学膜-黒色膜
スパッタリングによる光学薄膜で成膜される反射防止膜
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光学膜-反射ミラー
劣化・腐食を抑える金属膜コーティング
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光学膜-赤外線カットフィルター
熱線をカットし、熱線の影響を低減するダイクロイックフィルター
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光学膜-多層膜コーティング
特定の波長域の透過率や反射率の強さをコントロールできる多層膜コーティング
DRY成膜-硬質膜
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硬質膜-あらまし
アルバックテクノの硬質膜について
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硬質膜-TiN膜
母材との密着性が非常に高い耐磨耗性、耐スクラッチ性に優れた硬質膜
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硬質膜-CrN膜
酸・アルカリに対して優れた耐食性を持つ硬質膜
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硬質膜-DLC膜
アモルファス構造で潤滑性・摺動性に優れた硬質膜
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硬質膜-AlTiN膜
真空中の金属部品からの放出ガスを低減させる特性を持つ硬質膜
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硬質膜-TiCN膜
塩水環境化でも高い耐食性を示す硬質膜
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硬質膜-MoS2/TiN膜
潤滑油が使用できない環境などでの摺動、シール面への成膜に適している硬質膜
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硬質膜-加飾膜
食器向けに最適な硬質膜
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硬質膜-スパッタリング膜
アルバックテクノが提供する受託成膜加工サービス
目的にあった表面処理のご案内
部材の特性やご利用目的による適切な表面処理の選び方をご紹介しています
