アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理
SuperALpika®(スーパーアルピカ)
[SuperALpika]概要
SuperALpika®(スーパーアルピカ)はアルミニウム合金用バリア型化学研磨表面処理で、製造プロセスにおいて反応性ガスや腐食性ガスを用いるものも多く、アルミニウム合金をそのまま使用すると、装置の壁や部品の表面と反応性ガスやそのプラズマ・ラジカルが反応を起こしてしまいプロセスが安定しなくなります。そのため反応性ガスを用いる装置の内部表面向けの処理を施すのに適しています。
※SuperALpika®は株式会社アルバックの登録商標です。
特長
適用合金
アルミニウム合金
処理可能材質:A1000、A5000、A6000番台
・「酸化膜形成」真空装置の真空槽・防着板部品
・「100℃以上」を要する真空装置・真空槽・ヒーター
・「フッ素系ガス」「ラジカル」を用いる真空装置・真空槽・部品
・「耐食処理が必要で低放出ガス」を要する真空装置
表面処理一覧
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VACAL®(バッカル)
クラックの発生を極めて少なくするアルミニウム、およびその合金上へのアルマイト皮膜処理
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TUFRAM®(タフラム)
硬質アルマイトとフッ素樹脂の複合被膜 低摩擦と耐摩耗性向上のアルミ専用の表面処理
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NEDOX®(ニダックス)
無電解ニッケルとフッ素樹脂の複合被膜 高硬度と耐摩耗性向上の各種素材への表面処理
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NIFGRIP®(ニフグリップ)
無電解ニッケルとフッ素樹脂の共析被膜 非粘着や離型性効果の各種素材への表面処理
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ULCERAM®-C39(アルセラム-C39)
フッ素を使用しないセラミック系のコーティング(塗装)被膜 耐熱性と非粘着性を兼ね備えた表面処理
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LECTROFLUOR®(レクトロフロー)
深刻なダメージを与える過酷な環境において、腐食や酸化を防止するフッ素樹脂複合膜表面処理
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大型硬質アルマイト
日本最大級を誇る大型液晶製造装置対応のアルマイト処理
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アルマイト処理
アルマイト(陽極酸化処理法)の基礎から、当社独自の応用技術をご紹介しています
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ALpika®(アルピカ)
低放出ガスの表面処理
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SUSpika®(サスピカ)
容易で良質な処理を応用
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SuperALpika®(スーパーアルピカ)
アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理
目的にあった表面処理のご案内
部材の特性やご利用目的による適切な表面処理の選び方をご紹介しています