低放出ガスの表面処理
ALpika®（アルピカ）
［ALpika］概要
複雑形状部品でも均一な施工が可能な表面処理です。
※ALpika®は株式会社アルバックの登録商標です。
特長
・ガス放出量が少ない
・複雑形状処理が容易にできます
・再現性が良い（同じ処理ができます）
・ダスト発生が極めて少ない
・大気中の経年変化が極めて少ない
・外観上の光沢面が均一です
・処理費用が安価
実用例
部品：防着板、ウェーハカセット、チャンバー、搬送系 他
真空関連に限らずアルミ表面の光沢を得る処理としても応用可能です。
単位面積あたりのガス放出速度
適用合金
アルミニウム合金
処理可能材質：A1000、A5000、A6000番台
処理槽寸法：1.5m□
表面処理一覧
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VACAL®（バッカル）
クラックの発生を極めて少なくするアルミニウム、およびその合金上へのアルマイト皮膜処理
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TUFRAM®（タフラム）
硬質アルマイトとフッ素樹脂の複合被膜 低摩擦と耐摩耗性向上のアルミ専用の表面処理
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NEDOX®（ニダックス）
無電解ニッケルとフッ素樹脂の複合被膜 高硬度と耐摩耗性向上の各種素材への表面処理
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NIFGRIP®（ニフグリップ）
無電解ニッケルとフッ素樹脂の共析被膜 非粘着や離型性効果の各種素材への表面処理
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ULCERAM®-C39（アルセラム-C39）
フッ素を使用しないセラミック系のコーティング（塗装）被膜 耐熱性と非粘着性を兼ね備えた表面処理
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LECTROFLUOR®（レクトロフロー）
深刻なダメージを与える過酷な環境において、腐食や酸化を防止するフッ素樹脂複合膜表面処理
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大型硬質アルマイト
日本最大級を誇る大型液晶製造装置対応のアルマイト処理
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アルマイト処理
アルマイト（陽極酸化処理法）の基礎から、当社独自の応用技術をご紹介しています
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ALpika®（アルピカ）
低放出ガスの表面処理
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SUSpika®（サスピカ）
容易で良質な処理を応用
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SuperALpika®（スーパーアルピカ）
アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理
目的にあった表面処理のご案内
部材の特性やご利用目的による適切な表面処理の選び方をご紹介しています
