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真空中の金属部品からの放出ガスを低減させる特性を持つ硬質膜

硬質膜-AlTiN膜

[硬質膜-AlTiN膜]

概要

AiTiN膜は、母材との密着強度(30N以上)の強度を持ち、大気中で600℃以上の高耐熱膜です。
耐酸化性に優れ、高輻射率(ε>0.6)を有した真空中における金属部品からの放出ガスを低減させる特性の非常に良い被膜です。

硬度(Hv) 密着性(N) 耐酸化温度(℃) 摩擦係数 輻射率 面粗さ(Ra)
1200以上 30N以上 600℃ 0.3 >0.6 0.4μm

特長

1:硬く(Hv1,200以上)耐摩耗性、耐スクラッチ性に優れています
2:母材との密着性(30N以上)が高い被膜です
3:高耐熱膜(600℃以上)であり耐酸化性に優れています
4:高輻射率(ε>0.6)を有し真空中における放出ガス特性の良い被膜です

高輻射、高耐熱AlTiN黒色膜特性

AlTiN膜の応用例

主な応用分野と使用目的
応用分野 応用例
自動車・二輪車関連 インナーチューブ・マフラー
真空機器 真空装置内輻射板
その他 黒色系装飾膜

表面処理一覧

WET成膜

DRY成膜-光学膜

DRY成膜-硬質膜

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