硬質膜-MoS2/TiN膜

［硬質膜-MoS2/TiN膜］

概要
特長

概要

MoS2膜は、固体潤滑膜として使用されます。
潤滑油が使用できない環境などでの摺動、シール面への成膜に適しています。
アルバックテクノではMoS2の下地にTiN膜を併用することでMoS2膜の密着性と耐久性をさらにアップさせることが可能となりました。
比較的低温で成膜できるので金属以外にもセラミックスや耐熱樹脂の基材にも使えます。アルバックテクノのMoS2膜はキメの細かい柱状結晶が特徴です。

特長

1:MoS2/TiN膜は通常１μｍ、　最大50μｍまで可能です
2:最大処理寸法は　Φ200×Ｈ100までとなります
3:金属、セラミック、耐熱プラスチック等に成膜可能です
4:使用温度は300℃以下です
5:最表面のMoS2膜はキメの細かい柱状結晶が理想的です

MoS2/TiN膜の成膜限度

1:MoS2／TiN膜は通常１μm、最大50μm 成膜可能
2:最大処理寸法はφ200×H100
3:金属、セラミック、耐熱プラスチック等に成膜可能

MoS2/TiN膜の応用例

主な応用分野と使用目的

応用分野	製品名称	使用目的
宇宙開発	バルブ・レールスライド	耐摩耗・耐食
真空・精密機器	電子顕微鏡部品・駆動機構部品	耐熱・高耐荷重・真空特性要求部品
ロボット・自動機械産業	シャフト・ステージレール・チェーン	耐摩擦・耐摩耗
電力産業	タービンバルブ・回転シール	重荷重耐摩耗