ALpika（アルピカ）
SUSpika（サスピカ）
Super ALpika（スーパーアルピカ）
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真空槽内表面処理: Super ALpika®（スーパーアルピカ）
アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理
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適用合金
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アルミニウム合金
処理可能材質：A1000、A5000、A6000番台
・「酸化膜形成」真空装置の真空槽・防着板部品
・「100℃以上」を要する真空装置・真空槽・ヒーター
・「フッ素系ガス」「ラジカル」を用いる真空装置・真空槽・部品
・「耐食処理が必要で低放出ガス」を要する真空装置 -
Super Alpika®（スーパーアルピカ）はアルミニウム合金用バリア型化学研磨表面処理で、製造プロセスにおいて反応性ガスや腐食性ガスを用いるものも多く、アルミニウム合金をそのまま使用すると、装置の壁や部品の表面と反応性ガスやそのプラズマ・ラジカルが反応を起こしてしまいプロセスが安定しなくなります。そのため反応性ガスを用いる装置の内部表面向けの処理を施すのに適しています。
