ALpika（アルピカ）
SUSpika（サスピカ）
Super ALpika（スーパーアルピカ）
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真空槽内表面処理: ALpika®（アルピカ）
低放出ガスの表面処理
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特 長
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実用例
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部品：防着板、ウェーハカセット、チャンバー、搬送系 他
真空関連に限らずアルミ表面の光沢を得る処理としても応用可能です。
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適用合金
アルミニウム合金
処理可能材質：A1000、A5000、A6000番台
処理槽寸法：1.5m□
複雑形状部品でも均一な施工が可能な処理。
アルピカ処理後ウェーハカセット（アスペクト比の高い櫛形部分が均一に研磨されています。 |
・ガス放出量が少ない。
・複雑形状処理が容易にできます。
・再現性が良い（同じ処理ができます）。
・ダスト発生が極めて少ない。
・大気中の経年変化が極めて少ない。
・外観上の光沢面が均一です。
・処理費用が安価。
単位面積あたりのガス放出速度
