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FAQ

油拡散ポンプが、1時間以上たっても起動完了になりません。 考えられる原因を教えてください。

1時間以上たっても起動完了にならない場合、以下の原因が考えられます。
①ブレーカーやマグネットコンタクタ、接点の接触不良、タイマーリレー等の不良
油拡散ポンプを起動開始すると、タイマーで時間をカウントします。
PLC内部でカウントしている場合と、外部タイマーでカウントをしている場合があります。それぞれのカウント開始の信号は、油拡散ポンプのヒーターへ通電するためのマグネットコンタクタの2次側の通電の信号を受けています。
起動しない場合、ブレーカーが落ちているか、マグネットコンタクタが動いていないか、接点の接触不良またはタイマーリレーの故障等いずれかの原因が考えられます。

②ヒーターが断線している場合(装置の制御系側で起動完了となった後に、高真空排気しようとして高真空が得られない場合)
ヒーターの断線により、作動用オイルの温度が上がらず、起動できていない可能性があります。自動排気の機能を持っている装置の場合は、マグネットコンタクターの2次側に電圧はかかるので、起動完了となる事がありますが、実際に油拡散ポンプのヒーター周りの温度を確認し、動作しているかどうかを確認する必要があります。その際、ヒーターは250℃以上出力する性能があるため、温度測定器等を使用し火傷に十分注意して確認してください。温度が挙がっていない場合、ヒーターが断線している可能性があります。

③油拡散ポンプのオイル不足
メンテナンス後のオイルの入れ忘れや、長期に渡りメンテナンスを行っていない場合、オイルが徐々に蒸発してしまい、オイルが不足している可能性があります。

④冷却水不足
油拡散ポンプの冷却水不足や、冷却水の温度が高いために、噴射された作動油を冷やすことが出来ず、ポンプの性能が低下することがあります。ヒーターの温度を確認し、正常に動作していることを確認したら油拡散ポンプ本体の上部が手で触れるレベルの温度になっているかどうかを確認してください。(ヒーターは250℃以上出力する性能があるため、確認の際は温度測定器を使用する等、火傷に十分ご注意ください。)

⑤補助バルブ(フォアバルブ)が開いていない
補助バルブが開いていないと、背圧が上がりポンプの性能が低下します。

⑥補助ポンプ(フォアポンプ)の排気性能低下
補助ポンプ(フォアポンプ:一般的に油回転真空ポンプ)の排気性能が低下すると、油拡散ポンプの背圧を規定値以下に出来ずに、油拡散ポンプの性能が低下します。

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